[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质

权利要求书

1.一种数据处理方法，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，

所述数据处理方法包括：

评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及

结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图和表情标记，所述圆图用于表示在将所述评价值超过阈值的基板作为异常基板且将异常基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；

在所述结果显示步骤中，

所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化，

在使用者确认后检测到异常基板时，自动显示所述表情标记，

所述表情标记根据在使用者确认后完成了处理的异常基板的张数而变化，

当使用者选择所述表情标记时，显示包含各评价值错误的内容的评价值错误列表画面，

当使用者针对在所述评价值错误列表画面显示的评价值错误输入确认指示时，所述表情标记从所述评价结果画面消失。

2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

所述评价结果画面在所述圆图的内侧包括所述异常件数。

3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，

所述异常件数的显示尺寸根据所述异常件数而变化。

4.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

所述评价结果画面针对每个所述处理单元还包括用于表示所述异常件数的增减趋势的箭头。

5.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

所述数据处理方法还包括评价值选择步骤，在所述评价值选择步骤中从在所述评价值计算步骤中求出的评价值中选择满足给定条件的基板所涉及的评价值，

在所述结果显示步骤中，基于在所述评价值选择步骤中选择出的评价值来显示所述评价结果画面。

6.根据权利要求5所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述评价值选择步骤中，选择在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值，

在所述结果显示步骤中，基于在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示所述评价结果画面。

7.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述结果显示步骤中，分层地显示所述评价结果画面、包括所述评价值的画面、以及包括所述时序数据的曲线图的画面。

8.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

在所述结果显示步骤中，基于在所述评价值计算步骤中求出的评价值与在其他数据处理装置中求出的评价值来显示概要画面。

9.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，

所述基准数据是其他时序数据。

10.一种数据处理装置，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，

所述数据处理装置具有：

评价值计算部，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及

结果显示部，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图和表情标记，所述圆图用于表示在将所述评价值超过阈值的基板作为异常基板且将异常基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；

所述结果显示部进行如下显示：

所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化，

在使用者确认后检测到异常基板时，自动显示所述表情标记，

所述表情标记根据在使用者确认后完成了处理的异常基板的张数而变化，

当使用者选择所述表情标记时，显示包含各评价值错误的内容的评价值错误列表画面，

当使用者针对在所述评价值错误列表画面显示的评价值错误输入确认指示时，所述表情标记从所述评价结果画面消失。