[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质

说明书

本发明提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。为了处理由具有多个处理单元(25)的基板处理装置(20)得到的时序数据(7)，数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据(7)与基准数据(8)进行比较，来求取时序数据(7)的分数(9)；以及结果显示步骤(S107)，显示评价结果画面(50)，评价结果画面(50)针对每个处理单元(25)包括圆图(53)，该圆图(53)用于表示分数(9)异常的基板的张数即分数错误件数(52)以及表示分数错误件数(52)在处理过的基板的张数中的比例。分数错误件数(52)与圆图(53)的显示尺寸根据分数错误件数(52)而变化。

技术领域

本发明涉及数字数据处理，尤其涉及由基板处理装置测定的数据的处理方法、处理装置以及记录介质。

背景技术

作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并分析将测定结果按时序顺序排列得到的时序数据的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且分析该异常的时序数据来确定异常的发生位置或原因。

在半导体基板(以下称为基板)的制造工序中，利用多个基板处理装置执行一系列处理。基板处理装置包括对基板进行一系列处理中的特定处理的多个处理单元。各处理单元根据预先设定的流程(称为规程)对基板进行处理。此时基于各处理单元的测定结果，得到时序数据。通过对得到的时序数据进行分析，能够确定发生异常的处理单元或异常的原因。

关于本发明，日本特开2001-265431号公报公开了一种错误输出方法，即，对于独立发生的错误，将错误信息显示在第一层级；对于因先前的错误而导致的错误，将错误信息显示在第二层级以下的下层区域。国际公开第2003/85504号公开了一种包括用于显示各种的信息的屏幕画面的用于半导体系统工艺的图形用户界面。

发明内容

基板处理装置具有多个处理单元，基于各处理单元中大量的测定结果来得到大量的时序数据。因此，使用者(基板处理装置的操作者)在观察包括时序数据的所有异常的显示画面时，能够容易地把握基板处理装置的状态。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。

本发明的第1实施方式是一种数据处理方法，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，

所述数据处理方法包括：

评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及

结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；

所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。

本发明的第2实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，

所述评价结果画面在所述圆图的内侧包括所述异常件数。

本发明的第3实施方式根据本发明的第2实施方式，其特征在于，

所述异常件数的显示尺寸根据所述异常件数而变化。

本发明的第4实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，

所述评价结果画面针对每个所述处理单元还包括用于表示所述异常件数的增减趋势的箭头。

本发明的第5实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，

所述评价结果画面还包括表情标记，