[发明专利]多孔质玻璃微粒体的制造方法和装置及玻璃母材制造方法

权利要求书

1.一种多孔质玻璃微粒体的制造方法，具有如下工序：

在旋转的起始构件形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积层的工序，

将供给到燃烧器的气体由所述原料气体切换成吹扫气体的工序，

在至少将所述原料气体从所述燃烧器内排出去为止的期间，将所述吹扫气体以第1流量供给到所述燃烧器的工序，以及

将所述原料气体从燃烧器内排出后，将供给到所述燃烧器的所述吹扫气体的流量切换成比所述第1流量小的第2流量的工序。

2.根据权利要求1所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，在所述燃烧器位于所述玻璃微粒的沉积层的有效部的外侧的状态下，将供给到所述燃烧器的气体由所述原料气体切换成所述吹扫气体。

3.根据权利要求1或2所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，通过对所述吹扫气体的流量进行电子控制而将所述第1流量切换成所述第2流量。

4.根据权利要求1或2所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，通过从设置在吹扫气体供给源与所述燃烧器之间的贮气罐供给所述吹扫气体，从而使所述吹扫气体的流量设为所述第1流量，

通过设置于比所述贮气罐更上游侧的供给机构，使所述吹扫气体的流量设为所述第2流量。

5.根据权利要求1或2所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，不论是将所述原料气体供给到所述燃烧器的情况还是供给到通气管的情况，所述原料气体的流量是恒定的。

6.根据权利要求3所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，不论是将所述原料气体供给到所述燃烧器的情况还是供给到通气管的情况，所述原料气体的流量是恒定的。

7.根据权利要求4所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，不论是将所述原料气体供给到所述燃烧器的情况还是供给到通气管的情况，所述原料气体的流量是恒定的。

8.根据权利要求1或2所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，供给到所述燃烧器的气体为将所述原料气体和氧气进行了混合的预混合气体。

9.根据权利要求3所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，供给到所述燃烧器的气体为将所述原料气体和氧气进行了混合的预混合气体。

10.根据权利要求4所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，供给到所述燃烧器的气体为将所述原料气体和氧气进行了混合的预混合气体。

11.根据权利要求8所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，不论是将所述预混合气体供给到所述燃烧器的情况还是供给到通气管的情况，所述预混合气体的流量是恒定的。

12.根据权利要求9所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，不论是将所述预混合气体供给到所述燃烧器的情况还是供给到通气管的情况，所述预混合气体的流量是恒定的。

13.根据权利要求10所述的多孔质玻璃微粒体的制造方法，其中，不论是将所述预混合气体供给到所述燃烧器的情况还是供给到通气管的情况，所述预混合气体的流量是恒定的。

14.一种玻璃母材的制造方法，具有将通过权利要求1～13中任一项所述的制造方法得到的多孔质玻璃微粒体进行烧结的工序。