[发明专利]多孔质玻璃微粒体的制造方法和装置及玻璃母材制造方法

说明书

本发明的课题在于在使用含硅有机化合物作为原料的情况下，抑制发生回火以及多孔质玻璃微粒体的品质的下降。本发明的解决手段是一种多孔质玻璃微粒体的制造方法，具有如下工序：在旋转的起始构件(M)形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积层(L)的工序；将供给到燃烧器(4)的气体由原料气体切换成吹扫气体的工序；在至少将原料气体从燃烧器(4)内排出去为止的期间，将吹扫气体以第1流量供给到燃烧器的工序；以及，将供给到燃烧器(4)的吹扫气体的流量切换成比第1流量小的第2流量的工序。

技术领域

本发明涉及多孔质玻璃微粒体的制造方法、多孔质玻璃微粒体的制造装置以及玻璃母材的制造方法。

背景技术

以往，已知有如下述专利文献1所示那样的使玻璃微粒沉积于玻璃棒等起始构件的多孔质玻璃微粒体的制造方法。如果将这种多孔质玻璃微粒体进行烧结，则能够得到用于制造光纤等的玻璃母材。

另外，在下述专利文献1中公开了在多孔质玻璃微粒体的端部处逐渐减少原料气体的流量的同时将供给到燃烧器的气体由原料气体切换成非活性气体(吹扫气体)。

专利文献1：日本特开2003－212554号公报

发明内容

在专利文献1中，使用四氯化硅作为原料气体。然而，如果使四氯化硅反应，则产生盐酸，因此，在环境负荷、盐酸的处理成本等方面存在课题。因此，近年来，多使用含硅有机化合物代替四氯化硅作为多孔质玻璃微粒体的原料。

但是，由于含硅有机化合物具有可燃性，因此，对于专利文献1中记载的方法而言，在减少原料气体的流量的工序或切换成吹扫气体的工序中，原料气体的流速降低时，有可能因残留在燃烧器内的原料的着火而发生回火(flashback)。

另外，为了抑制发生回火而增大吹扫气体的流量时，该吹扫气体强烈地喷吹到多孔质玻璃微粒体而导致多孔质玻璃微粒体的温度梯度变大。因此，容易在多孔质玻璃微粒体产生裂缝等破损，有时品质降低。

本发明是考虑这样的情况而完成的，其目的在于在使用含硅有机化合物作为原料的情况下，抑制发生回火以及多孔质玻璃微粒体的品质的下降。

为了解决上述课题，本发明的第1方案的多孔质玻璃微粒体的制造方法具有如下工序：在旋转的起始构件形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积层的工序；将供给到燃烧器的气体由所述原料气体切换成吹扫气体的工序；在至少将所述原料气体从所述燃烧器内排出去为止的期间，将所述吹扫气体以第1流量供给到所述燃烧器的工序；以及，将供给到所述燃烧器的所述吹扫气体的流量切换成比所述第1流量小的第2流量的工序。

根据上述第1方式，在将原料气体从燃烧器内排出去为止的期间，将吹扫气体以第1流量供给到燃烧器。由此，能够可靠地排出燃烧器内的原料气体，抑制在燃烧器内原料气体燃烧的回火的发生。

而且，在将原料气体从燃烧器内排出后，将吹扫气体的流量切换成比第1流量小的第2流量。由此，能够抑制吹扫气体强烈地喷吹于玻璃微粒的沉积层而沉积层的温度梯度变大并产生破损等。

在此，可以通过对所述吹扫气体的流量进行电子控制而将所述第1流量切换成所述第2流量。

此时，第1流量和第2流量的调整变得容易，能够提高制造装置的通用性。

另外，可以通过从设置在吹扫气体供给源与所述燃烧器之间的贮气罐供给所述吹扫气体，使所述吹扫气体的流量设为所述第1流量，通过设置于比所述贮气罐更上游侧的供给机构，使所述吹扫气体的流量为所述第2流量。

根据该构成，能够将供给到燃烧器的吹扫气体的流量从第1流量迅速切换成第2流量。因此，能够抑制吹扫气体以第1流量以必要以上的长时间从燃烧器的出口持续流出。其结果，能够更可靠地抑制多孔质玻璃微粒体的品质的下降。