[发明专利]铜清洗剂在审
| 申请号： | 201910098514.8 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109576722A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李金城;吴豪旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/18 | 分类号： | C23G1/18;C23G1/20 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重量份 清洗剂 表面活性剂 去离子水 甘油 缓蚀剂 丙酮 | ||
1.一种铜清洗剂，以所述铜清洗剂为100重量份为基础，包括：
40～65重量份的去离子水；
25～35重量份的丙酮缩甘油；
0.001～2重量份的表面活性剂；以及
0.01～2重量份的缓蚀剂。
2.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其pH值为8～10。
3.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中所述表面活性剂包括一酰胺类化合物。
4.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中所述表面活性剂包括下列至少一者：乙二醇酰胺、单乙醇酰胺、以及聚氧乙烯烷醇酰胺。
5.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中所述表面活性剂包括一季铵盐类化合物。
6.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中所述表面活性剂包括下列至少一者：氯化苄基三乙基铵、硫酸氢丁四基铵、十二烷基三甲基氯化铵、十二烷基二甲基苄基氯化铵、十八烷基二甲基羟乙基硫酸铵、以及十八烷基二甲基羟乙基过氯酸铵。
7.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中所述缓蚀剂包括一唑类化合物。
8.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中所述缓蚀剂包括下列至少一者：苯并三氮唑、1H-咪唑、1H-四唑、5-苯基-1H-四唑、5-氨基-1H-四唑、3-氨基-1H-三唑、以及5-羧基苯并三氮唑。
9.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中以所述铜清洗剂为100重量份为基础，所述铜清洗剂包括：
60～65重量份的去离子水；
28～32.5重量份的丙酮缩甘油；
0.5～1.5重量份表面活性剂；以及
0.5～1重量份缓蚀剂。
10.根据权利要求1所述的铜清洗剂，其中以所述铜清洗剂为100重量份为基础，所述铜清洗剂包括：
65重量份的去离子水；
32.5重量份的丙酮缩甘油；
1.5重量份表面活性剂；以及
1重量份缓蚀剂。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910098514.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
