[发明专利]一种散热片贴装芯片的方法及系统在审

专利信息
申请号: 201910100572.X 申请日: 2019-01-31
公开(公告)号: CN109887849A 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 卢海伦;周锋;吉祥 申请(专利权)人: 通富微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/67
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 李庆波
地址: 226000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 散热片 贴装 第二表面 第一表面 导热胶 芯片 第一基板 相背设置 芯片表面 芯片倒装 散热 载台 申请 损伤
【说明书】:

本申请公开了一种散热片贴装芯片的方法及系统,所述方法包括:将散热片放置于第一载台上,其中,所述散热片包括相背设置的第一表面和第二表面,所述散热片的所述第一表面朝向所述第一载台;在所述散热片的所述第二表面上设置导热胶;将芯片与所述散热片通过所述导热胶连接,其中,所述芯片倒装于第一基板上。通过上述方式,本申请能够在贴装散热片时降低对芯片表面的损伤。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域,特别是涉及一种散热片贴装芯片的方法及系统。

背景技术

一般而言,芯片在运行时会伴随大量热量产生,若芯片散热效果不好,很有可能会影响芯片的性能及其使用寿命。

传统的做法是在芯片的表面用点胶组件点上导热胶,然后再把散热片压在芯片的表面上,散热片不仅可以起到保护芯片的作用,还可以起到增加散热面积的作用。

本申请的发明人在长期研究过程中发现,上述点胶过程中点胶组件距离芯片表面较近,点胶组件移动过程中很容易碰到芯片,在力的作用下会造成芯片表面破损,进而降低芯片的良率。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种散热片贴装芯片的方法及系统,能够在贴装散热片时降低对芯片表面的损伤。

为解决上述技术问题,本申请采用的一个技术方案是:提供一种散热片贴装芯片的方法,所述方法包括:将散热片放置于第一载台上,其中,所述散热片包括相背设置的第一表面和第二表面,所述散热片的所述第一表面朝向所述第一载台;在所述散热片的所述第二表面上设置导热胶;将芯片与所述散热片通过所述导热胶连接,其中,所述芯片倒装于第一基板上。

其中,所述散热片为金属材质,所述将散热片放置于第一载台上,包括:将所述散热片放置于所述第一载台并加热至少第一预设时间,使其达到预设温度。

其中,所述将所述散热片放置于所述第一载台并加热至少第一预设时间包括:加热所述第一载台至少第一预设时间,以使得所述第一载台的温度上升到至少所述预设温度。

其中,所述将芯片与所述散热片通过所述导热胶连接包括:将所述芯片的非功能面朝下,并靠近所述散热片设有所述导热胶的一侧,直至所述芯片的所述非功能面接触所述导热胶。

其中,所述在所述散热片的所述第二表面上设置导热胶包括:在所述散热片的所述第二表面涂覆多段所述导热胶,且多段所述导热胶占据的区域面积不超过所述芯片的所述非功能面的面积。

其中,所述散热片包括与所述第一载台接触的本体、以及自所述本体的两端向远离所述第一载台方向延伸的台阶;所述在所述散热片的所述第二表面上设置导热胶,包括:在所述散热片的所述本体、所述台阶对应的所述第二表面区域设置所述导热胶;所述将芯片与所述散热片通过所述导热胶连接包括:将所述芯片的非功能面与所述本体的所述导热胶连接,将所述第一基板与所述台阶的所述导热胶连接。

其中,所述将芯片与所述散热片通过所述导热胶连接之前,所述方法还包括:提供所述第一基板;提供所述芯片,所述芯片包括功能面和非功能面,所述功能面设置有焊盘和金属凸柱,所述金属凸柱与所述焊盘电连接;将所述金属凸柱与所述第一基板电连接;在所述芯片的功能面与所述第一基板之间填充塑封料,且所述塑封料不覆盖所述芯片的所述非功能面。

为解决上述技术问题,本申请采用的另一个技术方案是:提供一种用于散热片贴装芯片的系统,所述系统包括:第一载台,用于承载散热片,所述散热片包括相背设置的第一表面和第二表面,所述散热片的所述第一表面朝向所述第一载台;点胶组件,用于在所述散热片的所述第二表面上设置导热胶;转移组件,用于将芯片与所述散热片通过所述导热胶连接,其中,所述芯片倒装于所述第一基板上。

其中,所述系统还包括:固定组件,用于将所述散热片固定于所述第一载台上;和/或,加热组件,用于加热所述第一载台至少第一预设时间,以使得所述第一载台的温度上升到至少所述预设温度。

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