[发明专利]一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺在审
| 申请号： | 201910106005.5 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN109666895A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 王寒骁;郭高建 | 申请（专利权）人： | 江苏新思达电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 防辐射层 真空电镀 塑胶 射频放电 蒸发材料 溅镀 工艺利用 离子状态 塑胶产品 抽真空 电离 通电 | ||
【权利要求书】：
1.一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，其特征在于，包括以下步骤：将塑胶产品安装到蒸发镀设备上，投入蒸发材料，抽真空至6×10-3Pa，通Ar气至1×10-1Pa，持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态，开始通电蒸发材料，同时持续通入Ar气，并持续射频放电，保持真空度在4×10-2Pa，蒸发Cu材料，间隔5分钟，蒸发Ag材料，通大气，完成整个蒸着过程。
2.根据权利要求1所述的一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，其特征在于，持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态的条件是1000W射频放电5分钟。
3.根据权利要求1所述的一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，其特征在于，蒸发Cu材料的条件是加160V电压，持续140s。
4.根据权利要求1所述的一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，其特征在于，蒸发Ag材料的条件是加80V电压，持续90s。
5.根据权利要求1所述的一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，其特征在于，将塑胶产品安装到蒸发镀设备上之前先对塑胶产品表面进行粗糙处理。
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