[发明专利]一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺在审
申请号: | 201910106005.5 | 申请日: | 2019-02-02 |
公开(公告)号: | CN109666895A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 王寒骁;郭高建 | 申请(专利权)人: | 江苏新思达电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/20 | 分类号: | C23C14/20;C23C14/24 |
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地址: | 215500 江苏省苏州市常熟*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发 防辐射层 真空电镀 塑胶 射频放电 蒸发材料 溅镀 工艺利用 离子状态 塑胶产品 抽真空 电离 通电 | ||
本发明公开了一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺,包括以下步骤:将塑胶产品安装到蒸发镀设备上,投入蒸发材料,抽真空至6×10‑3Pa,通Ar气至1×10‑1Pa,持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态,开始通电蒸发材料,同时持续通入Ar气,并持续射频放电,保持真空度在4×10‑2Pa,蒸发Cu材料,间隔5分钟,蒸发Ag材料,通大气,完成整个蒸着过程。本发明一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺利用了蒸发镀的设备,借鉴了溅镀的原理,性能优于溅镀,成本与蒸发镀相当。
技术领域
本发明属于涂装及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺。
背景技术
如果产品设计过程中需要达到内外部屏蔽的效果,可以采取化学电镀、直接喷涂导电漆、蒸发镀膜、溅镀、利用碳纤维的导电性能、导电材料直接注塑、直接使用金属外壳等多种方法。但是综合环保等方面,其中最重要的指标导电性最好的方式主要有3种:直接使用金属外壳、蒸发镀和溅镀。
直接使用金属外壳,成本较高,尤其对于形状比较复杂且有较多空柱的产品,很难达成。从各类性价比比较,溅镀和蒸发镀是比较好的选择。
溅射镀膜(溅镀):在真空室内,对Ar气(氩气)进行放电,形成Ar+,然后将镀膜靶材端设置成负极,产品置于正极。Ar+以极高的速度轰击正极上的靶材,将金属靶材的原子轰击脱离,射向产品表面,不断反复,完成产品表面的溅镀,如果有多个靶材电极,即可溅镀多种材料。但是溅镀由于属于轰击沉积,对于深度有一定的限制,同时如果需要达到很高屏蔽性效果,其溅镀时间会比较长。
真空蒸着(蒸发镀):在真空室内,将蒸发材料放置于加热材料中,同时通过通电加热加热丝,蒸发金属,进行沉积。蒸发镀虽然工艺和设备简单,但是效果差于溅镀。
发明内容
本发明的目的在于利用蒸发镀的设备,借鉴溅镀的原理,提供一种性能优于溅镀,成本与蒸发镀相当的在塑胶上电镀电磁防辐射层的方法。
为了实现上述目的,本发明的技术方案是设计一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺,包括以下步骤:将塑胶产品安装到蒸发镀设备上,投入蒸发材料,抽真空至6×10-3Pa,通Ar气至1×10-1Pa,持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态,开始通电蒸发材料,同时持续通入Ar气,并持续射频放电,保持真空度在4×10-2Pa,蒸发Cu材料,间隔5分钟,蒸发Ag材料,通大气,完成整个蒸着过程。
优选的,1000W射频放电5分钟,将Ar气全部电离成离子状态。
优选的,加160V电压,持续140s蒸发Cu材料。
优选的,加80V电压,持续90s蒸发Ag材料。
优选的,将待加工的塑胶产品表面进行进一步的粗糙处理(塑胶表面洁净度高的产品可不处理)后置于蒸发镀设备中。
本发明的优点和有益效果在于:本发明一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺,由于RF放电持续到材料蒸发完成,在整个金属蒸发过程中,利于较深产品的侧壁也能较好的电镀并取得很好的效果,完全可以保证深度5cm,侧壁1cm两点之间的电阻在0.3欧姆以内。该方法可以很好的加工深度较深的产品;使用价格相对较低的蒸发镀设备完成性能与溅镀相当的产品;标准化的电镀工艺,利于操作,节约成本。
具体实施方式
下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例1
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