[发明专利]一种曝光机预对位装置及曝光机在审
| 申请号： | 201910106522.2 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN109597284A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王鹏飞;史朋超 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215333 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光机 破片 预对位装置 感应机构 工作台 对位 检出 对位工序 工作效率 刮伤 光罩 基板 停机 宕机 检测 维修 | ||
1.一种曝光机预对位装置，其特征在于，包括对位工作台和破片感应机构，其中，所述破片感应机构设置在所述对位工作台四周，用于检测基板是否破片。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括报警装置，所述报警装置与所述破片感应机构连接。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述破片感应机构包括多个感应器，多个所述感应器分别设置在所述对位工作台的两侧。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述对位工作台相对的两侧分别设置两个所述感应器，且四个所述感应器分别对应检测基板的四个角。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括位置调整装置，用于调整所述感应器在所述对位工作台侧边的位置。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述位置调整装置包括分别位于所述对位工作台两侧，且平行于所述对位工作台侧边的两个导轨，所述感应器滑动地安装在所述导轨上。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述破片感应机构包括用于检测横向曝光基板的第一破片感应机构和用于检测纵向曝光基板的第二破片感应机构。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第一破片感应机构包括位于对位工作台第一侧的第一感应器和第二感应器，以及位于工作台第二侧的第三感应器和第四感应器；
所述第二破片感应机构包括位于对位工作台第一侧的第五感应器和第六感应器，以及位于工作台第二侧的第七感应器和第八感应器；
其中，所述第一侧和第二侧为对位工作台的相对的两侧。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括PLC系统，所述PLC系统接收所述破片感应机构的信号，判断是否破片，当判断为破片时，进行报警处理，当判断为未破片时，进入下一步程序。
10.一种曝光机，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的曝光机预对位装置。
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