[发明专利]一种曝光机预对位装置及曝光机

说明书

本发明涉及一种曝光机预对位装置以及使用该曝光机预对位装置的曝光机，该曝光机预对位装置包括对位工作台和破片感应机构，其中，所述破片感应机构设置在所述对位工作台四周，用于检测基板是否破片。本发明通过设置破片感应机构，实现了预对位工序时的破片检出，有效避免破片流入下一工序而产生的宕机或刮伤光罩的技术问题，在检出破片时可以进行及时处理，有效提高了工作效率，降低了维修和停机成本。

技术领域

本发明涉及TFT-LCD生产技术领域，并且更具体地，涉及到一种曝光机预对位装置及曝光机。

背景技术

TFT-LCD彩膜工艺中主要流程有涂布、曝光、显影、烘烤、检查，其中曝光机构是PCP→ROBOT→PA→Work stage上曝光，曝光工艺是利用紫外光(UV)透过光罩(Mask)上的图像，将光罩上的图像转移到玻璃基板涂布的光阻表面上，使照射到的光阻起化学反应；在后续显影制程中，CF制程中由于使用负性光阻，则照射到的部分将留下。如图1所示，现有技术中的PA(Pre-alignment)单元是基板直接到对位工作台上进行对位，在发生基板破片时，由于无法有效识别，致使破片流入下一步，极易造成光罩刮伤或宕机，严重地影响了生产效率和生产成本。

基于此，现有技术仍然有待改进。

发明内容

本发明针对上述问题，目的在于提供一种曝光机预对位装置及曝光机，其能解决现有技术的玻璃基板发生破片后流入下一工序，刮伤光罩或导致宕机的技术问题。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一方面，本发明的实施例公开了一种曝光机预对位装置，包括对位工作台和破片感应机构，其中，所述破片感应机构设置在所述对位工作台四周，用于检测基板是否破片。

进一步地，还包括报警装置，所述报警装置与所述破片感应机构连接。

进一步地，所述破片感应机构包括多个感应器，多个所述感应器分别设置在所述对位工作台的两侧。

进一步地，所述对位工作台相对的两侧分别设置两个所述感应器，且四个所述感应器分别对应检测基板的四个角。

进一步地，还包括位置调整装置，用于调整所述感应器在所述对位工作台侧边的位置。

进一步地，所述位置调整装置包括分别位于所述对位工作台两侧，且平行于所述对位工作台侧边的两个导轨，所述感应器滑动地安装在所述导轨上。

进一步地，所述破片感应机构包括用于检测横向曝光基板的第一破片感应机构和用于检测纵向曝光基板的第二破片感应机构。

进一步地，所述第一破片感应机构包括位于对位工作台第一侧的第一感应器和第二感应器，以及位于工作台第二侧的第三感应器和第四感应器；

所述第二破片感应机构包括位于对位工作台第一侧的第五感应器和第六感应器，以及位于工作台第二侧的第七感应器和第八感应器；

其中，所述第一侧和第二侧为对位工作台的相对的两侧。

进一步地，还包括PLC系统，所述PLC系统接收所述破片感应机构的信号，判断是否破片，当判断为破片时，进行报警处理，当判断为未破片时，进入下一步程序。

另一方面，本发明实施例还公开了一种曝光机，其包括上述的曝光机预对位装置。

本发明的有益效果是：

本发明通过设置破片感应机构，实现了预对位工序时的破片检出，有效避免破片流入下一工序而产生的宕机或刮伤光罩的技术问题，在检出破片时可以进行及时处理，有效提高了工作效率，降低了维修和停机成本。

附图说明

图1为本发明现有技术的曝光机预对位装置的结构示意图；