[发明专利]微观单元磨蚀性表达方法测量装置及检测方法在审

专利信息
申请号: 201910108341.3 申请日: 2019-01-18
公开(公告)号: CN109612859A 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 郭鑫;赵武;姜冲;万浩;陈领;于淼;张凯;于泽源;杜琳;蒋薇;吴年汉 申请(专利权)人: 四川大学
主分类号: G01N3/44 分类号: G01N3/44
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 李佳
地址: 610065 四川省成都市一*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 方法测量 微观单元 磨蚀性 位置调节组件 压头总成 工件移动台 材料检测 电磁干扰 装置结构 可移动 连接件 压头模 检测 磨蚀
【权利要求书】:

1.一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成;

所述位置调节组件设置于所述基座,所述压头总成通过连接件与所述位置调节组件连接,所述工件移动台可移动的设置于所述基座,且与所述压头总成对应。

2.根据权利要求1所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,所述压头总成包括壳体和压模组件,所述压模组件固定设置于所述壳体内,且所述压模组件包括N平方个压头模组,所述压头模组以N×N的矩阵间隔分布;

每个所述压头模组包括驱动组件、传感器、压轴以及具有容纳腔的压壳,所述压轴包括驱动段和检测段,所述检测段远离所述驱动段的一端设置有顶尖,所述驱动组件固定设置于所述驱动段且位于所述容纳腔内,所述驱动组件用于对所述压轴施压力,所述传感器固定设置于所述检测段,所述顶尖凸出于所述压壳设置;

每个所述压头模组被施压的力相同。

3.根据权利要求2所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,所述驱动组件包括感应线圈和磁铁,所述感应线圈套设于所述驱动段,所述磁铁固定设置于所述容纳腔的内壁且与所述感应线圈对应,用于产生驱动压轴的电磁力。

4.根据权利要求3所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,所述压头模组还包括灯组和控制器;

所述灯组包括至少三个LED灯,且全部所述LED灯间隔围设于所述压壳的周向,所述控制器通过导线分别与所述LED灯、所述传感器以及所述感应线圈电连接,所述控制器用于接收所述传感器的信号,并控制所述感应线圈中的电流以及所述LED灯。

5.根据权利要求2所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,所述压头模组还包括限位组件;

所述限位组件包括至少三个限位弹簧,全部所述限位弹簧位于所述容纳腔内且间隔围设于所述压轴的周向,所述限位弹簧一端抵接于所述压壳的内壁,另一端抵接于所述压轴的外壁。

6.根据权利要求2-5任意一项所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,N为5~20,且相邻两个所述压头模组之间的距离为2mm;

每个所述压头模组的压壳外壁均涂覆有屏蔽涂层。

7.根据权利要求1所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,所述基座开设有X轴滑动导轨和Y轴滑动导轨,所述工件移动台设置有滑动部,所述滑动部与所述X轴滑动导轨和所述Y轴滑动导轨滑动配合;

所述位置调节组件包括圆弧滑轨件和滑动件,所述圆弧滑轨件垂直于所述基座且开设有圆弧滑动导轨,所述滑动件与所述圆弧滑动导轨配合且设置有Z轴调节部,所述连接件可调节的设置于所述Z轴调节部。

8.根据权利要求7所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置,其特征在于,所述X轴滑动导轨与所述Y轴滑动导轨垂直交叉设置,交叉点为原点,所述滑动部与所述X轴滑动导轨的滑动范围为0~±15mm,所述滑动部与所述Y轴滑动导轨的滑动范围为0~±15mm。

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