[发明专利]微观单元磨蚀性表达方法测量装置及检测方法

权利要求书

1.一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成；

所述位置调节组件设置于所述基座，所述压头总成通过连接件与所述位置调节组件连接，所述工件移动台可移动的设置于所述基座，且与所述压头总成对应。

2.根据权利要求1所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，所述压头总成包括壳体和压模组件，所述压模组件固定设置于所述壳体内，且所述压模组件包括N平方个压头模组，所述压头模组以N×N的矩阵间隔分布；

每个所述压头模组包括驱动组件、传感器、压轴以及具有容纳腔的压壳，所述压轴包括驱动段和检测段，所述检测段远离所述驱动段的一端设置有顶尖，所述驱动组件固定设置于所述驱动段且位于所述容纳腔内，所述驱动组件用于对所述压轴施压力，所述传感器固定设置于所述检测段，所述顶尖凸出于所述压壳设置；

每个所述压头模组被施压的力相同。

3.根据权利要求2所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，所述驱动组件包括感应线圈和磁铁，所述感应线圈套设于所述驱动段，所述磁铁固定设置于所述容纳腔的内壁且与所述感应线圈对应，用于产生驱动压轴的电磁力。

4.根据权利要求3所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，所述压头模组还包括灯组和控制器；

所述灯组包括至少三个LED灯，且全部所述LED灯间隔围设于所述压壳的周向，所述控制器通过导线分别与所述LED灯、所述传感器以及所述感应线圈电连接，所述控制器用于接收所述传感器的信号，并控制所述感应线圈中的电流以及所述LED灯。

5.根据权利要求2所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，所述压头模组还包括限位组件；

所述限位组件包括至少三个限位弹簧，全部所述限位弹簧位于所述容纳腔内且间隔围设于所述压轴的周向，所述限位弹簧一端抵接于所述压壳的内壁，另一端抵接于所述压轴的外壁。

6.根据权利要求2-5任意一项所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，N为5～20，且相邻两个所述压头模组之间的距离为2mm；

每个所述压头模组的压壳外壁均涂覆有屏蔽涂层。

7.根据权利要求1所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，所述基座开设有X轴滑动导轨和Y轴滑动导轨，所述工件移动台设置有滑动部，所述滑动部与所述X轴滑动导轨和所述Y轴滑动导轨滑动配合；

所述位置调节组件包括圆弧滑轨件和滑动件，所述圆弧滑轨件垂直于所述基座且开设有圆弧滑动导轨，所述滑动件与所述圆弧滑动导轨配合且设置有Z轴调节部，所述连接件可调节的设置于所述Z轴调节部。

8.根据权利要求7所述的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，所述X轴滑动导轨与所述Y轴滑动导轨垂直交叉设置，交叉点为原点，所述滑动部与所述X轴滑动导轨的滑动范围为0～±15mm，所述滑动部与所述Y轴滑动导轨的滑动范围为0～±15mm。