[发明专利]微观单元磨蚀性表达方法测量装置及检测方法

说明书

本发明公开了一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置以及检测方法，涉及材料检测技术领域。该微观单元磨蚀性表达方法测量装置包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成。位置调节组件设置于基座，压头总成通过连接件与位置调节组件连接，工件移动台可移动的设置于基座，且与压头总成对应。该微观单元磨蚀性表达方法测量装置结构简单，使用方便，精度高，能够避免压头模组之间的电磁干扰，又可以实现nm级的精确定位，能够快速准确的获得样品的磨蚀性能。

技术领域

本发明涉及材料检测技术领域，具体而言，涉及一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置及检测方法。

背景技术

硬度通常是指固体材料抗拒永久形变的特性，目前是通过划刻硬度法、压痕硬度法以及回弹硬度法三种主要方式对材料进行检测。

切削刀片的磨蚀主要是由工件中的硬质颗粒引起的，通常用后刀面的磨蚀面来评估加工中的刀具寿命和切削性能。材料磨蚀的情况只与材料的宏观硬度有关，材料的高宏观硬度趋向于增加后刀面磨蚀。考虑到磨粒磨蚀机制的细节，硬质磨粒的体积及其机械性能也会影响磨蚀性能，从而导致沿着切削刃的滑移和碎裂。

但是，对于工件材料的磨蚀特性，很难精确的使用一个数值定量评定磨蚀情况，或者能够定性的对磨蚀性进行表示。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置，使用方便，精度高，实现nm级的精确定位，可以精准的测量样品磨蚀性能的相关参数。

本发明的目的还在于提供一种磨蚀性能检测方法，通过磨蚀性能检测设备对样品进行快速、准确的测量，能够定性的对磨蚀性能进行表达。

本发明的实施例是这样实现的：

基于上述目的，本发明的实施例提供了一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置，包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成；

所述位置调节组件设置于所述基座，所述压头总成通过连接件与所述位置调节组件连接，所述工件移动台可移动的设置于所述基座，且与所述压头总成对应。

另外，根据本发明的实施例提供的微观单元磨蚀性表达方法测量装置，还可以具有如下附加的技术特征：

在本发明的可选实施例中，所述压头总成包括壳体和压模组件，所述压模组件固定设置于所述壳体内，且所述压模组件包括N平方个压头模组，所述压头模组以N×N的矩阵间隔分布；

每个所述压头模组包括驱动组件、传感器、压轴以及具有容纳腔的压壳，所述压轴包括驱动段和检测段，所述检测段远离所述驱动段的一端设置有顶尖，所述驱动组件固定设置于所述驱动段且位于所述容纳腔内，所述驱动组件用于对所述压轴施压力，所述传感器固定设置于所述检测段，所述顶尖凸出于所述压壳设置；

每个所述压头模组被施压的力相同。

在本发明的可选实施例中，所述驱动组件包括感应线圈和磁铁，所述感应线圈套设于所述驱动段，所述磁铁固定设置于所述容纳腔的内壁且与所述感应线圈对应，用于产生驱动压轴的电磁力。

在本发明的可选实施例中，所述压头模组还包括灯组和控制器；

所述灯组包括至少三个LED灯，且全部所述LED灯间隔围设于所述压壳的周向，所述控制器通过导线分别与所述LED灯、所述传感器以及所述感应线圈电连接，所述控制器用于接收所述传感器的信号，并控制所述感应线圈中的电流以及所述LED灯。

在本发明的可选实施例中，所述压头模组还包括限位组件；

所述限位组件包括至少三个限位弹簧，全部所述限位弹簧位于所述容纳腔内且间隔围设于所述压轴的周向，所述限位弹簧一端抵接于所述压壳的内壁，另一端抵接于所述压轴的外壁。