[发明专利]一种卷绕式真空镀膜机

说明书

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种卷绕式真空镀膜机。该真空镀膜机包括有再处理箱及镀膜箱，再处理箱包括起卷辊、收卷辊和再处理系统，所述再处理系统包括有多个展平辊及温度控制辊，所述镀膜箱包括第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室，其中第一镀膜室与第三镀膜室采用溅射镀膜工艺，镀膜室内设有镀膜辊与镀膜室磁控靶，第二镀膜室采用蒸发镀膜工艺，镀膜室内设有镀膜辊及蒸发源。本发明可在一个工作流程中利用不同的制备工艺完成多种复合薄膜的制备，各个镀膜室相互隔离，互不影响；可改变表面温度的温度控制辊对刚镀膜完成的薄膜进行真空热处理或者冷却处理，加速薄膜表面的成型，优化薄膜的表面形貌。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种卷绕式真空镀膜机。

背景技术

如今，随着光电技术的发展，对柔性光电薄膜的生产效率和质量的要求也逐渐提高。传统光电薄膜多为单一涂层，无法满足社会的发展需求，而多功能复合涂层包含多种不同制备参数的薄膜，但针对不同的膜层，其制备工艺和制备参数不尽相同，并且很多薄膜需要对其进行再处理以增强薄膜的性能，目前现有的卷绕式镀膜机依然存在以下问题：(1)一个工作周期内所能制备的膜层数量不多；(2)传统镀膜机配备的制备工艺单一，无法在单个真空室内实现多种制备工艺相结合；(3)传统的镀膜机与再处理系统是分开的，每层薄膜制备完成后需先取出再进行再处理，浪费时间且增加了膜层被污染的可能。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种卷绕式真空镀膜机。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

本发明提供一种卷绕式真空镀膜机，该真空镀膜机包括有再处理箱及镀膜箱，再处理箱包括起卷辊、收卷辊和再处理系统，所述再处理系统包括有多个展平辊及温度控制辊，所述温度控制辊分别为第一温度控制辊、第二温度控制辊和第三温度控制辊；所述镀膜箱包括镀膜室，镀膜室包括第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室。

根据本发明，所述第一镀膜室中包括第一镀膜辊和第一镀膜室磁控靶，所述第一镀膜室磁控靶设置在所述第一镀膜辊正下方位置。

根据本发明，所述第二镀膜室中包括第二镀膜辊和蒸发源，所述蒸发源设置在所述第二镀膜辊正下方位置。

根据本发明，所述第三镀膜室中包括第三镀膜辊和第三镀膜室磁控靶，所述第三镀膜室磁控靶设置在所述第三镀膜辊正下方位置。

根据本发明，所述再处理箱与镀膜箱之间设置有隔板，所述第一镀膜辊、所述第二镀膜辊和所述第三镀膜辊设置在隔板上，各镀膜辊与隔板的连接位置处存在间隙，间隙宽度为1-3mm。

根据本发明，所述再处理箱中还设置有两个传感器辊，分别为第一传感器辊和第二传感器辊，所述第一传感器辊放置在放卷辊的下方，第二传感器辊放置在收卷辊的上方。

根据本发明，所述温度控制辊表面温度范围为0-800℃，其发热方式为内部发热丝产热。

根据本发明，所述再处理箱中设有多个通气管道，通气管道均充入惰性保护气体；

所述第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室中设有布气管道，分别为第一布气管道、第二布气管道和第三布气管道，其中第一布气管道和第三布气管道充入氩气工作气体，所述第二布气管道充入惰性保护气体。

根据本发明，所述再处理箱、第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室中均设置有真空计。

本发明还提供了一种真空镀膜工艺，该工艺包括以下步骤：

S1：将基材卷在放卷辊上，并依次卷绕过传感器辊、镀膜辊和温度控制辊，最终收入到收卷辊中，基材在传感器辊和镀膜辊之间，镀膜辊和温度控制辊之间卷绕过多个平展辊；