[发明专利]真空泵及平衡调整方法

权利要求书

1.一种真空泵，包括利用多个螺栓将泵转子固定在旋转轴上的结构的旋转体、或利用多个螺栓将转子零件固定在泵转子上的结构的旋转体，所述真空泵的特征在于，

在所述多个螺栓中，使用第一空心螺栓、第二空心螺栓及实心螺栓中的至少两种螺栓，所述第一空心螺栓沿轴芯形成有第一孔，所述第二空心螺栓沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第一孔不同的第二孔，所述实心螺栓未形成沿轴芯的孔。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述转子零件是平衡调整用构件。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述多个螺栓是贯通所述平衡调整用构件及所述泵转子，通过将所述平衡调整用构件及所述泵转子与固定所述泵转子的旋转轴共同紧固而固定。

4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述转子零件通过所述第一空心螺栓、所述第二空心螺栓及所述实心螺栓中的至少两种螺栓而固定在所述泵转子上，

所述泵转子通过多个泵转子固定用螺栓而固定在所述旋转轴上，所述多个泵转子固定用螺栓与将所述转子零件固定在所述泵转子上的所述多个螺栓不同，

在所述多个泵转子固定用螺栓中，使用第三空心螺栓、第四空心螺栓及实心螺栓之中的至少两种螺栓，所述第三空心螺栓沿轴芯形成有第三孔，所述第四空心螺栓沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第三孔不同的第四孔，所述实心螺栓未形成沿轴芯的孔。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

在所述第一孔及第二孔中的至少一者中，形成有安装平衡调整用螺钉的内螺纹。

6.一种平衡调整方法，其是根据权利要求1所述的真空泵中的平衡调整方法，其特征在于，

利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述泵转子固定在所述旋转轴上，或将所述转子零件固定在所述泵转子上，

测量所述旋转体的失衡量，

基于所测量的所述失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓。

7.一种平衡调整方法，其是根据权利要求2所述的真空泵中的平衡调整方法，其特征在于，

利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述平衡调整用构件固定在所述泵转子上，

测量所述旋转体的第一失衡量，

基于所测量的所述第一失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓，

测量螺栓更换后的所述旋转体的第二失衡量，

基于所测量的所述第二失衡量，削除所述平衡调整用构件的一部分。

8.一种平衡调整方法，其是根据权利要求5所述的真空泵中的平衡调整方法，其特征在于，

利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述转子零件固定在所述泵转子上，

测量所述旋转体的第一失衡量，

基于所测量的所述第一失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓，

测量螺栓更换后的所述旋转体的第二失衡量，

基于所测量的所述第二失衡量，将所述平衡调整用螺钉安装于所述第二空心螺栓的任一个所述内螺纹上。