[发明专利]真空泵及平衡调整方法

说明书

本发明提供一种真空泵及平衡调整方法，能够减少用于调整失衡的削减量或安装失衡调整用的螺钉时的附加质量。涡轮分子泵是利用多个螺栓将泵转子(4a)固定在旋转轴即轴(4b)上的结构，在多个螺栓中，使用沿轴芯形成有贯通孔(510)的空心的螺栓(51)以及沿轴芯未形成孔的实心的螺栓(50)。因此，通过将固定有旋转体(4)的多个螺栓(50)的一部分更换成空心的螺栓(51)，可以进行失衡调整。

技术领域

本发明涉及一种真空泵及平衡调整方法。

背景技术

在涡轮分子泵等真空泵中，是使包括泵转子(pump rotor)的旋转体以每分钟转数(Revolution Per Minute，r.p.m.)为数万的高速旋转而进行排气。如果旋转体存在失衡，就会产生振动而无法进行安静的运转，所以通常是一边使组装后的旋转体高速旋转，一边测定不均衡，以对失衡进行修正。作为失衡修正方法，已经知道如专利文献1所述那样削去旋转体的一部分的方法、或如专利文献2所述那样将平衡修正用螺钉附加于旋转体上的方法。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2003-021092号公报

[专利文献2]日本专利特开2003-148389号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，当失衡量大时，会产生所去除的体积(即削减量)增大的问题，并且，当将平衡修正用螺钉附加于旋转体上时，会产生螺丝攻(tap)周边的应力的载荷增大的问题。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选形态的真空泵包括利用多个螺栓将泵转子固定在旋转轴上的结构的旋转体、或利用多个螺栓将转子零件固定在泵转子上的结构的旋转体，在所述多个螺栓中，使用沿轴芯形成有第一孔的第一空心螺栓、沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第一孔不同的第二孔的第二空心螺栓、及未形成沿轴芯的孔的实心螺栓中的至少两种螺栓。

在更优选的形态中，所述转子零件是平衡调整用构件。

在更优选的形态中，所述多个螺栓是通过贯通所述平衡调整用构件及所述泵转子，将所述平衡调整用构件及所述泵转子与固定所述泵转子的旋转轴共同紧固而固定。

在更优选的形态中，所述转子零件是通过所述第一空心螺栓、所述第二空心螺栓及所述实心螺栓中的至少两种螺栓而固定在所述泵转子上，所述泵转子通过多个泵转子固定用螺栓而固定在所述旋转轴上，所述多个泵转子固定用螺栓与将所述转子零件固定在所述泵转子上的所述多个螺栓不同，在所述多个泵转子固定用螺栓中，使用沿轴芯形成有第三孔的第三空心螺栓、沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第三孔不同的第四孔的第四空心螺栓、及未形成沿轴芯的孔的实心螺栓中的至少两种螺栓。

在更优选的形态中，在所述第一孔及第二孔中的至少一者中，形成有安装平衡调整用螺钉的内螺纹。

在本发明的优选形态的平衡调整方法中，利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述泵转子固定在所述旋转轴上，或将所述转子零件固定在所述泵转子上，测量所述旋转体的失衡量，基于所测量的所述失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓。

在本发明的优选形态的平衡调整方法中，利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述平衡调整用构件固定在所述泵转子上，测量所述旋转体的第一失衡量，基于所测量的所述第一失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓，测量螺栓更换后的所述旋转体的第二失衡量，基于所测量的所述第二失衡量削除所述平衡调整用构件的一部分。