[发明专利]一种射频信号探测装置和射频信号接收设备

权利要求书

1.一种射频信号探测装置，其特征在于，包括：

机电谐振器，用于与射频信号接收器连接，且在所述射频信号接收器向所述机电谐振器施加射频信号时产生机械振动；

光学探测器，置于所述机电谐振器至少一侧，用于探测所述机电谐振器的机械形变。

2.根据权利要求1所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述机电谐振器的固有频率与所述射频信号的频率一致。

3.根据权利要求1所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述机电谐振器的固有频率可调。

4.根据权利要求1所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述光学探测器包括激光干涉仪。

5.根据权利要求1所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述机电谐振器为压电谐振器，所述机电谐振器包括压电薄膜和至少一层电极，或者衬底和至少一层电极；

其中，所述压电薄膜包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面一侧和/或所述第二表面一侧形成有所述电极，所述至少一层电极用于与所述射频信号接收器连接。

6.根据权利要求5所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述光学探测器置于一所述电极远离所述压电薄膜的一侧。

7.根据权利要求5所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述光学探测器包括探测光发射部和探测光接收部，所述压电薄膜还包括第三表面和第四表面；

所述探测光发射部置于所述第三表面一侧，所述探测光接收部置于所述第四表面一侧，所述探测光发射部用于向所述第三表面发射探测光，所述探测光接收部用于接收通过所述压电薄膜的所述探测光。

8.根据权利要求1所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述机电谐振器为静电谐振器，所述机电谐振器包括：

谐振器主体；

偏压电极板，置于所述谐振器主体的一侧，包括至少一块偏压电极，所述偏压电极用于为所述谐振器主体提供偏置电压；

驱动电极，置于所述谐振器主体的一侧；在垂直于所述谐振器主体所在平面的方向上，所述驱动电极与所述谐振器主体相交叠；所述驱动电极与所述谐振器主体之间具有间隙，所述驱动电极用于与所述射频信号接收器连接；

导电固定块，与所述谐振器主体电连接，用于支撑所述谐振器主体，且将所述谐振器主体固定于所述偏压电极板上。

9.根据权利要求8所述的射频信号探测装置，其特征在于，所述光学探测器与所述谐振器主体相对设置。

10.一种射频信号接收设备，其特征在于，包括射频信号接收器和如权利要求1-9任一所述的射频信号探测装置；

其中，所述射频信号接收器与所述射频信号探测装置中的机电谐振器连接，所述射频信号接收器用于接收射频信号并将所述射频信号施加至所述机电谐振器。