[发明专利]检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种检测方法，其特征在于，所述检测方法适用于一检测系统，所述检测系统包含一探针装置、一图像捕获设备及一处理装置，所述检测系统能执行所述检测方法，而使所述探针装置的多个探针抵压于一待测件的多个电性连接部，据以对所述待测件进行一电气检测，所述检测方法包含以下步骤：

一移动步骤：控制所述探针装置移动，以使多个所述探针移动至所述待测件的多个所述电性连接部的上方；

一图像获取步骤：控制所述图像捕获设备，获取多个所述探针及其对应的多个所述电性连接部的图像，以产生一图像获取信息；

一修正判断步骤：依据所述图像获取信息，通过所述处理装置判断各个所述探针与其所相对应的所述电性连接部于X轴方向的偏移量或Y轴方向的偏移量是否超出一容许范围；

若所述处理装置判断至少一个所述探针相对于其所对应的所述电性连接部，于X轴方向的偏移量或Y轴方向的偏移量超出一所述容许范围时，执行以下步骤：

一修正步骤：依据所述图像获取信息，控制所述探针装置移动，以使多个所述探针相对于其所对应的多个所述电性连接部移动；于所述修正步骤后，则执行一检测步骤；

若所述处理装置判断至少一个所述探针相对于其所对应的所述电性连接部，于X轴方向的偏移量及Y轴方向的偏移量皆符合所述容许范围时，执行以下步骤：

所述检测步骤：控制所述探针装置动作，以使各个所述探针抵压其所对应的多个所述电性连接部，据以对所述待测件进行所述电气检测。

2.依据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，于所述移动步骤前还包含一机台校正作业，所述机台校正作业包含以下步骤：

一校正移动步骤：控制所述探针装置移动，以使多个所述探针移动至所述待测件的多个所述电性连接部的上方；

一校正图像获取步骤：控制所述图像捕获设备，获取多个所述探针及其对应的多个所述电性连接部的图像，以产生一校正图像获取信息；

一位置校正步骤：依据所述校正图像获取信息，使多个所述探针相对于其所对应的多个所述电性连接部，沿X轴方向、Y轴方向、Z轴方向及θ方向中的至少一个移动；其中，所述θ方向是以Z轴为中心相对于Z轴旋转的方向。

3.依据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，于所述校正移动步骤中，利用所述处理装置依据一预定坐标信息，控制所述探针装置的多个所述探针，移动至所述待测件的部分所述电性连接部的上方；所述预定坐标信息包含X轴坐标数据、Y轴坐标数据及Z轴坐标数据。

4.依据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述检测系统执行所述检测方法，以对多个所述待测件逐一进行所述电气检测时，所述机台校正步骤被执行单次后，将重复执行所述移动步骤、所述图像获取步骤及所述修正判断步骤，以逐一对所述待测件进行所述电气检测。

5.依据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，于所述移动步骤中，利用所述处理装置依据一预定坐标信息，控制所述探针装置的多个所述探针，移动至所述待测件的部分所述电性连接部的上方；所述预定坐标信息包含X轴坐标数据、Y轴坐标数据及Z轴坐标数据。

6.依据权利要求3至5中任一项所述的检测方法，其特征在于，于所述检测步骤后，将重新依序执行所述移动步骤、所述图像获取步骤及所述修正判断步骤，而重新执行所述移动步骤时，所述处理装置将依据另一预定坐标信息，控制所述探针装置的多个所述探针，移动至未被多个所述探针抵压的多个所述电性连接部的上方。

7.依据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，于所述修正判断步骤中，所述处理装置依据所述图像获取信息，仅判断各个所述探针的针尖与其所相对应的所述电性连接部的边缘于X轴方向的一间隔距离是否超出所述容许范围。

8.依据权利要求1至5中任一项所述的检测方法，其特征在于，于所述修正判断步骤中，所述处理装置依据所述图像获取信息，仅判断各个所述探针的针尖与其所相对应的所述电性连接部的边缘于X轴方向的一间隔距离是否超出所述容许范围。