[发明专利]液体排出头基板和液体排出头

权利要求书

1.一种液体排出头基板，其特征在于，包括：

基板，包括生成热以排出液体的第一发热元件和第二发热元件；

第一覆盖部分，覆盖第一发热元件并具有导电性；

第二覆盖部分，覆盖第二发热元件并具有导电性；

绝缘层，设置在第一发热元件和第一覆盖部分之间以及第二发热元件和第二覆盖部分之间；

熔融部分，设置在基板上的设置有第一覆盖部分的一侧；

公共布线，用于电耦合第一覆盖部分和第二覆盖部分，公共布线经由熔融部分与第一覆盖部分耦合；以及

覆盖层，至少包括硅和碳并覆盖熔融部分。

2.根据权利要求1所述的液体排出头基板，

其中，覆盖层包括SiCN。

3.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，

其中，当在平面图中观察液体排出头基板时，基板在与熔融部分重叠的位置处包括如下的层：该层包括SiO并且具有至少1μm的厚度。

4.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，

其中，熔融部分包括钽。

5.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，

其中，公共布线和熔融部分在液体排出头基板中的层叠方向上设置为相同的层，并且

其中，覆盖层覆盖公共布线。

6.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，

其中，公共布线包括钽。

7.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，

其中，第一覆盖部分的在与其在第一发热元件侧的表面相反的一侧的表面包括含有铱的层。

8.根据权利要求7所述的液体排出头基板，

其中，熔融部分包括多层体，在该多层体中包括铱的层和包括钽的层从基板侧依次层叠，并且

其中，熔融部分的包括铱的层和第一覆盖部分的包括铱的层在液体排出头基板中在层叠方向上配置为相同的层。

9.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，还包括：

单独导线，将第一覆盖部分和熔融部分彼此电耦合，并且在液体排出头基板中在层叠方向上设置为与熔融部分的层相同的层；和

第一开口和第二开口，彼此相邻设置，液体流过第一开口和第二开口，

其中，当在平面图中观察液体排出头基板时，第一发热元件、第一开口和公共布线在与第一开口和第二开口彼此相邻的方向相交的方向上依次设置，并且

其中，单独导线穿过在第一开口和第二开口之间通过的区域设置，并且熔融部分相对于该区域位于公共布线侧。

10.根据权利要求1或2所述的液体排出头基板，

其中，电位能够通过公共布线和熔融部分被施加到第一覆盖部分。

11.根据权利要求1或2的液体排出头基板，

其中，当在平面图中观察液体排出头基板时，熔融部分的重心与第一发热元件的重心之间的距离为150μm或更小。

12.一种液体排出头，其特征在于，包括：

液体排出头基板，包括：

基板，包括生成热以排出液体的第一发热元件和第二发热元件；

第一覆盖部分，覆盖第一发热元件并具有导电性；

第二覆盖部分，覆盖第二发热元件并具有导电性；

绝缘层，设置在第一发热元件和第一覆盖部分之间以及第二发热元件和第二覆盖部分之间；

熔融部分，设置在基板上的设置有第一覆盖部分的一侧；

公共布线，用于电耦合第一覆盖部分和第二覆盖部分，公共布线经由熔融部分与第一覆盖部分耦合；以及

覆盖层，至少包括硅和碳并覆盖熔融部分；和

流动通道形成构件，设置在液体排出头基板的第一覆盖部分侧，流动通道形成构件包括形成流动通道的壁。