[发明专利]带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其具有：

载台，其支承载置有试样的试样保持器；

载台驱动机构，其对所述载台进行驱动；

试样室，其收容所述载台；

聚焦离子束镜筒，其对所述试样照射聚焦离子束；

电子束镜筒，其对所述试样照射电子束；

检测器，其检测由于照射所述聚焦离子束或所述电子束而从所述试样产生的二次离子或二次电子；

读取部，其读取所述试样保持器上附带的识别信息；

存储部，其存储表示所述识别信息与所述试样保持器的形状之间的对应关系的保持器形状信息、以及所述试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；以及

载台驱动范围限制部，其根据基于所述读取部读取的所述识别信息和所述保持器形状信息得到的所述试样保持器的形状、以及所述内部构造物的形状，对支承所述试样保持器的所述载台的驱动范围进行限制。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，

所述带电粒子束装置还具有：

预备试样室，其配置有所述读取部；

搬运部，其从所述预备试样室向所述试样室内搬运所述试样保持器；以及

搬运控制部，其根据所述读取部读取所述识别信息的读取结果，控制所述搬运部对所述试样保持器的搬运，

所述读取部读取位于所述预备试样室内的所述试样保持器上附带的所述识别信息。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其中，

在所述读取部无法读取位于所述预备试样室内的所述试样保持器上附带的所述识别信息的情况下，

所述搬运部不向所述试样室内搬运位于所述预备试样室内的所述试样保持器。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

所述载台驱动范围限制部将所述载台的所述驱动范围限制在所述试样、所述试样保持器、所述载台和所述载台驱动机构中的任意一方均不与所述内部构造物发生干涉的范围内。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，

所述带电粒子束装置还具有：

操作员信息取得部，其取得识别所述带电粒子束装置的操作员的操作员信息；以及

历史管理部，其将所述操作员信息取得部取得的所述操作员信息和所述读取部读取的所述识别信息对应起来存储在所述存储部中。

6.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其中，

所述带电粒子束装置还具有操作员作业效率计算部，该操作员作业效率计算部根据历史信息，计算所述带电粒子束装置的每个操作员的作业效率。

7.一种带电粒子束装置的载台驱动范围限制方法，该带电粒子束装置具有：

载台，其支承载置有试样的试样保持器；

载台驱动机构，其对所述载台进行驱动；

试样室，其收容所述载台；

聚焦离子束镜筒，其对所述试样照射聚焦离子束；

电子束镜筒，其对所述试样照射电子束；以及

检测器，其检测由于照射所述聚焦离子束或所述电子束而从所述试样产生的二次离子或二次电子，

其中，所述载台驱动范围限制方法具有以下步骤：

读取步骤，读取所述试样保持器上附带的识别信息；

存储步骤，存储表示所述识别信息与所述试样保持器的形状之间的对应关系的保持器形状信息、以及所述试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；以及

载台驱动范围限制步骤，根据基于所述读取步骤中读取的所述识别信息和所述保持器形状信息得到的所述试样保持器的形状、以及所述内部构造物的形状，对支承所述试样保持器的所述载台的驱动范围进行限制。

8.一种存储了程序的记录介质，该程序用于使带电粒子束装置的计算机执行以下步骤，其中，

所述带电粒子束装置具有：

载台，其支承载置有试样的试样保持器；

载台驱动机构，其对所述载台进行驱动；

试样室，其收容所述载台；

聚焦离子束镜筒，其对所述试样照射聚焦离子束；

电子束镜筒，其对所述试样照射电子束；以及

检测器，其检测由于照射所述聚焦离子束或所述电子束而从所述试样产生的二次离子或二次电子，

所述步骤是以下步骤：

读取步骤，读取所述试样保持器上附带的识别信息；

存储步骤，存储表示所述识别信息与所述试样保持器的形状之间的对应关系的保持器形状信息、以及所述试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；以及

载台驱动范围限制步骤，根据基于所述读取步骤中读取的所述识别信息和所述保持器形状信息得到的所述试样保持器的形状、以及所述内部构造物的形状，对支承所述试样保持器的所述载台的驱动范围进行限制。