[发明专利]带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质

说明书

本发明提供带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质，抑制载置有试样的试样保持器与试样室的内部构造物之间的干涉。具有：载台，支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，驱动载台；试样室，收容载台；聚焦离子束镜筒，对试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，对试样照射电子束；检测器，检测由于照射聚焦离子束或电子束而从试样产生的二次离子或二次电子；读取部，读取试样保持器上附带的识别信息；存储部，存储表示识别信息与试样保持器的形状的对应关系的保持器形状信息、以及试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；载台驱动范围限制部，根据试样保持器的形状和内部构造物的形状，限制支承试样保持器的载台的驱动范围。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质。

背景技术

例如，在对半导体器件等具有三维立体构造物的试样的内部进行观察的情况下，通过聚焦离子束(Focused Ion Beam：FIB)切断试样，形成三维立体构造物的任意观察用截面，通过电子显微镜对该截面进行观察。关于这种观察用截面，例如，在希望观察试样的缺陷部分的情况下，通过缺陷检查装置等确定其位置，根据所得到的位置信息进行截面加工。

此外，以往公知有如下的带电粒子束装置：与试样的种类无关，在使载台动作之前，预先预测与试样之间的干涉，将干涉防患于未然，极力减轻对操作员造成的负担(例如参照专利文献1)。在专利文献1所记载的带电粒子束装置中，取得试样的三维信息，预先通过仿真来判断试样是否发生干涉，将该判断结果报知给操作员。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-270072号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在专利文献1所记载的带电粒子束装置中，为了判断有无干涉，考虑试样的形状和各结构件(照射系统、检测器、气枪等)的形状，但是，未考虑载置有试样的试样保持器的形状。载置有试样的试样保持器的形状有时按照每个试样保持器而不同。因此，在专利文献1所记载的带电粒子束装置中，载置有试样的试样保持器和各结构件可能发生干涉。

鉴于上述问题点，本发明的目的在于，提供能够抑制载置有试样的试样保持器与试样室的内部构造物之间的干涉的带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式的带电粒子束装置具有：载台，其支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，其对所述载台进行驱动；试样室，其收容所述载台；聚焦离子束镜筒，其对所述试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，其对所述试样照射电子束；检测器，其检测由于照射所述聚焦离子束或所述电子束而从所述试样产生的二次离子或二次电子；读取部，其读取所述试样保持器上附带的识别信息；存储部，其存储表示所述识别信息与所述试样保持器的形状之间的对应关系的保持器形状信息、以及所述试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；以及载台驱动范围限制部，其根据基于所述读取部读取的所述识别信息和所述保持器形状信息得到的所述试样保持器的形状、以及所述内部构造物的形状，对支承所述试样保持器的所述载台的驱动范围进行限制。

也可以是，本发明的一个方式的带电粒子束装置还具有：预备试样室，其配置有所述读取部；搬运部，其从所述预备试样室向所述试样室内搬运所述试样保持器；以及搬运控制部，其根据所述读取部读取所述识别信息的读取结果，控制所述搬运部对所述试样保持器的搬运，所述读取部读取位于所述预备试样室内的所述试样保持器上附带的所述识别信息。

也可以是，在本发明的一个方式的带电粒子束装置中，在所述读取部无法读取位于所述预备试样室内的所述试样保持器上附带的所述识别信息的情况下，所述搬运部不向所述试样室内搬运位于所述预备试样室内的所述试样保持器。