[发明专利]晶圆转换装置

权利要求书

1.一种晶圆转换装置，适用于供第一晶圆载具及第二晶圆载具放置，所述第一晶圆载具包含多个垂直间隔排列的第一容置槽、连通所述第一容置槽之一侧的第一入口，及连通所述第一容置槽之另一侧的第一出口，每一第一容置槽适用于容置晶圆，所述第二晶圆载具包含多个垂直间隔排列的第二容置槽及连通所述第二容置槽之一侧且朝向所述第一出口的第二入口，每一第二容置槽适用于容置晶圆，所述第一容置槽的数量与所述第二容置槽的数量不同，其特征在于，所述晶圆转换装置包含：

基座；

导引单元，包括设置于所述基座的第一导引架，所述第一导引架包括两个相间隔且位于所述第一晶圆载具及所述第二晶圆载具之间的侧壁、多个垂直间隔排列且位于所述第一晶圆载具及所述第二晶圆载具之间的第一导引槽、连通所述第一导引槽之一侧且面向所述第一出口的导引入口及连通所述第一导引槽之另一侧且面向所述第二入口的导引出口，每一第一导引槽适用于让晶圆通过，且每一第一导引槽具有邻近所述第一晶圆载具且垂直对齐所述第一容置槽其中一者的入口段，及连通所述入口段且邻近所述第二晶圆载具并垂直对齐所述第二容置槽其中一者的出口段，所述入口段的垂直高度大于所述出口段的垂直高度；

顶推机构，可动地设置于所述基座，所述顶推机构可受控穿过所述第一晶圆载具的所述第一入口以顶推与所述第二容置槽对齐的所述第一容置槽中的所述晶圆，使所述晶圆由所述第一容置槽通过所述第一出口进入所述导引单元的所述第一导引架的所述导引入口，经由所述第一导引槽并从所述导引出口离开，最终通过所述第二晶圆载具的所述第二入口移动至所述第二容置槽内；及

高度调整机构，设置于所述基座并包括第一底板及第二底板，所述第一底板的高度小于所述第二底板的高度，所述第一底板及所述第二底板其中之一设置于所述基座并连接所述侧壁，所述第一底板可承载所述第一晶圆载具使所述第一晶圆载具位在第一高度位置，所述第二底板可承载所述第一晶圆载具使所述第一晶圆载具位在高度高于所述第一高度位置的第二高度位置，借此可将所述第一晶圆载具在所述第一高度位置及所述第二高度位置间调整变换，当所述第一晶圆载具在所述第一高度位置时，所述第一晶圆载具与所述第二晶圆载具两者其中之一的全部容置槽与其中另一的一部分容置槽位置相互对齐，且所述第一导引架的所述第一导引槽与所述第一容置槽及所述第二容置槽位置相互对齐，当所述第一晶圆载具在所述第二高度位置时，所述第一晶圆载具与所述第二晶圆载具其中之一的全部容置槽与其中另一的另一部分容置槽位置相互对齐，且所述第一导引架的所述第一导引槽与所述第一容置槽及所述第二容置槽位置相互对齐。

2.如权利要求1所述的晶圆转换装置，其特征在于：所述第一导引架的每一侧壁具有内壁面，所述内壁面彼此相互面对，所述内壁面形成有所述第一导引槽，所述侧壁界定出所述导引入口及所述导引出口。

3.如权利要求2所述的晶圆转换装置，其特征在于：所述第一导引架还包括把手，所述把手的两端分别连接所述侧壁。

4.如权利要求1所述的晶圆转换装置，其特征在于：所述导引单元还包括设置于所述基座的第二导引架，所述第二导引架包括多个垂直间隔排列且分别与所述第二容置槽及所述第一导引槽的所述出口段对齐的第二导引槽。

5.如权利要求2所述的晶圆转换装置，其特征在于：所述第一导引架还包括至少一设置于所述侧壁的限位件，所述限位件适用于定位所述第一晶圆载具或所述第二晶圆载具。

6.如权利要求1所述的晶圆转换装置，其特征在于：所述导引单元还包括设置于所述基座的第二导引架，所述第二导引架包括多个垂直间隔排列且分别与所述第一容置槽及所述第一导引槽的所述入口段对齐的第二导引槽。

7.如权利要求1至6中任一项所述的晶圆转换装置，其特征在于：每一第一导引槽的入口段具有朝向所述第一晶圆载具的第一端及连通所述出口段的第二端，所述入口段的垂直高度自所述第一端至所述第二端渐缩。

8.如权利要求7所述的晶圆转换装置，其特征在于：每一第一导引槽的所述入口段的所述第一端的垂直高度大于每一第一容置槽的垂直高度。