[发明专利]一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法在审
| 申请号： | 201910127408.8 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109706425A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 汪烨辰 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/14 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 吕波 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 基板贴合 图形边缘 金属铜薄膜 材料扩散 图形区域 形变 基板 扩散 大小变化 高柔韧性 隔离薄膜 紧密贴合 原因产生 蒸镀材料 受热 镂空 隔离柱 基板因 薄膜 封闭 | ||
【权利要求书】：
1.一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，其特征在于：在open mask上的高柔韧性的sheet上设置镂空的需要蒸镀的图形区域，沿着所述需要蒸镀的图形区域边缘向四周扩散镀上一层封闭的隔离薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，其特征在于：所述隔离薄膜的厚度为5-10µm。
3.根据权利要求1所述的一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，其特征在于：所述隔离薄膜的宽度为2-4mm。
4.根据权利要求1所述的一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，其特征在于：所述隔离薄膜的材质为铜。
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