[发明专利]一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，特别是一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，在open mask上的高柔韧性的sheet上设置镂空的需要蒸镀的图形区域，沿着所述需要蒸镀的图形区域边缘向四周扩散镀上一层封闭的隔离薄膜。采用上述方法后，本发明具有以下优点：1、在蒸镀前，open mask与基板贴合时，sheet的图形边缘区域，薄膜与基板因压力紧密贴合。2、sheet上的金属铜薄膜与基板贴合后，在基板上形成隔离柱，减少蒸镀材料在基板上的扩散，从而降低蒸镀图形的大小变化。3、与此同时，金属铜薄膜因为有一定厚度，在sheet与基板贴合后，使得sheet本身会产生轻微的形变，从而降低sheet因受热或其他原因产生的形变，从而影响蒸镀区域的大小。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别是一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法。

背景技术

现有的open mask上的sheet为便于加工获得蒸镀图形，使得sheet为较薄柔性很好的钢片，使得sheet本身极易发生形变，因为蒸镀材料接触mask时温度较高，易导致sheet发生形变，或因sheet本身在加工过程中产生形变导致sheet本身不平整，而这种形变在sheet的蒸镀图形边缘区域尤为明显，使得蒸镀得到的图形大于需要的图形。

现有技术中，对OLED的发光子像素形成方式采用蒸镀方法形成，主要是通过金属遮罩配置在OLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间，通过加热时蒸镀材料蒸发，并由金属遮罩上的开口对蒸镀面上相应的子像素蒸镀。但是金属遮罩蒸镀的方法，容易产生阴影效应(shadow effect)，也就是对第一种子像素蒸镀时，蒸镀材料可能扩散到第一种子像素规定区域之外，即扩散至第二种子像素区域、或第三种子像素区域而造成混色，影响OLED的发光显示效果。

中国发明专利申请CN 107636191 A公开了一种用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法，通过在金属遮罩上开口边缘设置挡墙，挡墙可以反射并阻挡蒸镀材料的扩散，使蒸镀材料最大化的留在规定的蒸镀区域内。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是提供一种能有效减少蒸镀材料扩散的方法。

为解决上述技术问题，本发明的一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，在open mask上的高柔韧性的sheet上设置镂空的需要蒸镀的图形区域，沿着所述需要蒸镀的图形区域边缘向四周扩散镀上一层封闭的隔离薄膜。

优选的，所述隔离薄膜的厚度为5-10µm。

优选的，所述隔离薄膜的宽度为2-4mm。

优选的，所述隔离薄膜的材质为铜。

采用上述方法后，本发明具有以下优点：

1、在蒸镀前，open mask与基板贴合时，sheet的图形边缘区域，薄膜与基板因压力紧密贴合。

2、sheet上的金属铜薄膜与基板贴合后，在基板上形成隔离柱，减少蒸镀材料在基板上的扩散，从而降低蒸镀图形的大小变化。

3、与此同时，金属铜薄膜因为有一定厚度，在sheet与基板贴合后，使得sheet本身会产生轻微的形变，从而降低sheet因受热或其他原因产生的形变，从而影响蒸镀区域的大小。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明在需要蒸镀的图形区域边缘镀隔离薄膜的结构示意图。

图中：1为开放掩膜片，2为图形区域，3为隔离薄膜。

具体实施方式