[发明专利]一种用于硅片位置调整的三轴对位装置

权利要求书

1.一种用于硅片位置调整的三轴对位装置，包括第一顶板（1）、第二顶板（2）、驱动轮顶升机构（3）、第一从动轮顶升机构（4）、第二从动轮顶升机构（5）、输送带（6）、连接板（7）、第一支撑件（8）、第二支撑件（9）、第一底板（10）、第二底板（11）、第三支撑件（12）、第一调整台（13）、第二调整台（14）、第三调整台（15）、左侧调整台（49）、右侧调整台（50）；其特征在于：第一底板（10）上安装第一支撑件（8）、第二支撑件（9）、第二调整台（14）、第三调整台（15），第二底板（11）上安装第一支撑件（8）、第三支撑件（12）、第一调整台（13），第一支撑件（8）、第二支撑件（9）、第三支撑件（12）上分别安装一定数量的滑动万向轮（38），滑动万向轮（38）上支撑有左侧调整台（49）、右侧调整台（50）水平任意方向滑动，左侧调整台（49）由第二顶板（2）、第一从动轮顶升机构（4）、第二从动轮顶升机构（5）、第一滑动板（36）、导杆座（42）、轴承座（43）、第二旋转轴（44）、气缸（48）构成，右侧调整台（50）由第一顶板（1）、驱动轮顶升机构（3）、第一从动轮顶升机构（4）、第二滑动板（37）、导杆座（42）、轴承座（43）、第二旋转轴（44）、气缸（48）构成，第一滑动板（36）和第二滑动板（37）通过连接板（7）连接，第二滑动板（37）上安装有左右两件导杆座（42），导杆座（42）上固定有第二旋转轴（44），第一侧板（40）上安装有左右两个轴承座（43），轴承座（43）孔内穿过第二旋转轴（44），使得由前后两端各两块立板（39）和左右两侧的第一侧板（40）组合形成框架，前端两块立板（39）相夹安装驱动轮顶升机构（3），后端两块立板（39）相夹安装第一从动轮顶升机构（4），组成的框架可绕着第二旋转轴（44）翻转，同时第一滑动板（36）上安装有左右两件导杆座（42），导杆座（42）上固定有第二旋转轴（44），第二侧板（41）上安装有左右两个轴承座（43），轴承座（43）孔内穿过第二旋转轴（44），使得由前后两端各两块立板（39）和左右两侧的第二侧板（41）组合形成的框架，前端两块立板（39）相夹安装第一从动轮顶升机构（4），后端两块立板（39）相夹安装第二从动轮顶升机构（5），组成的框架可绕着第二旋转轴（44）翻转，安装的气缸（48）可分别将驱动轮顶升机构（3）、第一从动轮顶升机构（4）、第二从动轮顶升机构（5）顶升和下降，第一顶板（1）安装在由前后两端各两块立板（39）和左右两侧的第一侧板（40）组合形成的框架上面，第二顶板（2）安装在由前后两端各两块立板（39）和左右两侧的第二侧板（41）组合形成的框架上面。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片位置调整的三轴对位装置，所述第一调整台（13）、第二调整台（14）、第三调整台（15）均由第三底板（16）、回转支承轴承（17）、滑块（18）、滑轨（19）、滑台（20）组成；其特征在于：所述第三底板（16）上安装滑台（20），滑台（20）上面安装有回转支承轴承（17），回转支承轴承（17）上安装滑块（18），滑轨（19）套合在滑块（18）内滑动，滑台（20）可带动回转支承轴承（17）、滑块（18）、滑轨（19）移动，滑块（18）可通过回转支承轴承（17）旋转性使滑轨（19）可360度旋转。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片位置调整的三轴对位装置，其特征在于：第二调整台（14）和第三调整台（15）上的滑轨（19）连接第二滑动板（37），第一调整台（13）上的滑轨（19）连接第一滑动板（36）。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片位置调整的三轴对位装置，所述驱动轮顶升机构（3）由驱动轮（21）、电机（22）、第一张紧轮（23）、第一导杆（24）、第一从动轮（25）、第一旋转轴（26）、第二从动轮（27）、第三从动轮（28）、第一固定座（29）组成，其特征在于：电机（22）、第一张紧轮（23）、第一导杆（24）、第一旋转轴（26）都分别固定在第一固定座（29），第一旋转轴（26）上分别固定第一从动轮（25）、第二从动轮（27）、第三从动轮（28），驱动轮（21）固定在电机（22）上，启动电机（22），使安装在上面的驱动轮（21）转动，驱动轮（21）通过输送带（6）带动第一从动轮（25）、第一旋转轴（26）、第二从动轮（27）、第三从动轮（28）转动。