[发明专利]气体溶解液制造装置

权利要求书

1.一种气体溶解液制造装置，其特征在于，具备：

气体供给部，该气体供给部供给作为气体溶解液的原料的气体；

液体供给部，该液体供给部供给作为所述气体溶解液的原料的液体；以及

气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，

所述气体溶解液生成部具备：

第一气体溶解部，该第一气体溶解部具有第一最佳流量；

第二气体溶解部，该第二气体溶解部具有与所述第一最佳流量不同的第二最佳流量；

流量检测部，该流量检测部对从所述液体供给部供给的液体的流量进行检测；以及

控制部，该控制部基于由所述流量检测部检测出的所述液体的流量，对将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部的哪一个供给进行控制，

所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部串联地连接，

所述控制部进行如下控制：

当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第二气体溶解部的最佳流量相比更接近所述第一气体溶解部的最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部供给；

当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一气体溶解部的最佳流量相比更接近所述第二气体溶解部的最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第二气体溶解部供给。

2.如权利要求1所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，

串联地连接的所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地设置有两列，

所述第一最佳流量比所述第二最佳流量小，

所述第一气体溶解部与所述第二气体溶解部相比配置于更接近所述液体供给部的上游侧的位置。

3.一种气体溶解液制造装置，其特征在于，具备：

气体供给部，该气体供给部供给作为气体溶解液的原料的气体；

液体供给部，该液体供给部供给作为所述气体溶解液的原料的液体；以及

气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，

所述气体溶解液生成部具备：

第一气体溶解部，该第一气体溶解部具有第一最佳流量；

第二气体溶解部，该第二气体溶解部具有与所述第一最佳流量不同的第二最佳流量；

流量检测部，该流量检测部对从所述液体供给部供给的液体的流量进行检测；以及

控制部，该控制部基于由所述流量检测部检测出的所述液体的流量，对将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部的哪一个供给进行控制，

所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地连接，

所述控制部进行如下控制：

当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第二最佳流量相比更接近所述第一最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体和从所述液体供给部供给的液体向所述第一气体溶解部供给；

当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一最佳流量相比更接近所述第二最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体和从所述液体供给部供给的液体向所述第二气体溶解部供给。

4.如权利要求3所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，

所述气体溶解液生成部具备，

第三气体溶解部，该第三气体溶解部与所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地连接，并具有与所述第一最佳流量和所述第二最佳流量中的任一个均不同的第三最佳流量，

所述控制部进行如下控制：

当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第三最佳流量相比更接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部供给；

当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量相比更接近所述第三最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第三气体溶解部供给。