[发明专利]一种可阻止孔圈发白的微蚀液

权利要求书

1.一种可阻止孔圈发白的微蚀液，其特征在于包括以下组分：

双氧水 10-20g/L

硫酸 90-110g/L

咬铜抑制剂 5-15g/L

咬铜促进剂 0.5-2g/L

双氧水稳定剂 1.5-3g/L

低泡表面活性剂 0.2-0.3g/L

去离子水 1L；

所述咬铜促进剂为环乙胺、正丁醇和正辛胺中的一种或多种; 所述双氧水稳定剂为甲基磺酸、苯酚磺酸和对甲基苯磺酸中的一种或多种；所述咬铜抑制剂为有机酸。

2.根据权利要求1所述的一种可阻止孔圈发白的微蚀液，其中，其中微蚀液各组分的质量浓度如下：硫酸 90g/L、双氧水 10g/L、咬铜抑制剂 5g/L、咬铜促进剂 0.5/L、双氧水稳定剂 1.5/L、低泡表面活性剂 0.2g/L、剩余为去离子水1L，所述咬铜抑制剂为柠檬酸，咬铜促进剂为环乙胺，双氧水稳定剂为甲基磺酸，低泡表面活性剂为脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚。

3.根据权利要求1所述的一种可阻止孔圈发白的微蚀液，其中，其中微蚀液各组分的质量浓度如下：硫酸 95g/L、双氧水 12g/L、咬铜抑制剂 7g/L、咬铜促进剂 1g/L、双氧水稳定剂 1.8g/L、低泡表面活性剂 0.23g/L、剩余为去离子水1L；所述咬铜抑制剂为甲基磺酸、咬铜促进剂为正丁醇、双氧水稳定剂为苯酚磺酸、低泡表面活性剂为脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚。

4.根据权利要求1所述的一种可阻止孔圈发白的微蚀液，其中，其中微蚀液各组分的质量浓度如下：硫酸 100g/L、双氧水15g/L、咬铜抑制剂 10g/L、咬铜促进剂 1.5g/L、双氧水稳定剂 2g/L、低泡表面活性剂0.25g/L、剩余为去离子水1L；所述咬铜抑制剂为酒石酸，咬铜促进剂为正辛胺，双氧水稳定剂为对甲基苯磺酸，低泡表面活性剂为异辛醇。

5.根据权利要求1所述的一种可阻止孔圈发白的微蚀液，其中，微蚀液各组分的质量浓度如下：硫酸 110g/L、双氧水、20g/L、咬铜抑制剂 15g/L、咬铜促进剂 2g/L、双氧水稳定剂3g/L、低泡表面活性剂 0.3g/L、剩余为去离子水1L；所述咬铜抑制剂为柠檬酸和甲基磺酸，咬铜促进剂为环乙胺和正辛胺，双氧水稳定剂为甲基磺酸和对甲基苯磺酸，按重量分混合比例1:1；低泡表面活性剂为脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚。

6.根据权利要求1所述的一种可阻止孔圈发白的微蚀液，其中，微蚀液各组分的质量浓度如下：硫酸 100g/L、双氧水 20g/L、咬铜抑制剂 15g/L、咬铜促进剂 1.5g/L、双氧水稳定剂 3g/L、低泡表面活性剂 0.3g/L、剩余为去离子水1L；所述咬铜抑制剂为柠檬酸、甲基磺酸和酒石酸，按重量分混合比例1：1：1；咬铜促进剂为环乙胺、正丁醇和正辛胺，按重量分混合比例1：1：1；双氧水稳定剂为甲基磺酸、苯酚磺酸和对甲基苯磺酸，按重量分混合比例1：1：1；低泡表面活性剂为异辛醇。

7.一种权利要求1所述的可阻止孔圈发白的微蚀液，其配比工艺包括以下步骤：

（1）在微蚀槽内加入500-800ml 的去离子水；

（2）向步骤（1）中的微蚀槽内加入咬铜促进剂并搅拌3-7min；

（3）向步骤（2）中的微蚀槽内加入质量浓度为50%的硫酸；

（4）向步骤（3）中的微蚀槽内加入咬铜抑制剂并搅拌4-8min；

（5）向步骤（4）中的微蚀槽内加入双氧水稳定剂和低泡表面活性剂；

（6）最后向微蚀槽内加入双氧水，并补水200-500ml，然后搅拌5-13min。