[发明专利]一种APS等离子制备氮化铝粉末的方法及氮化铝粉末和应用有效
| 申请号： | 201910135349.9 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109650897B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈焕涛;朱晖朝;黄健;张忠诚;况敏;黄仁忠;刘加宋;张玉桧;王昊 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/626;H01L23/15;H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李永宏 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 aps 等离子 制备 氮化 粉末 方法 应用 | ||
1.一种APS等离子制备氮化铝粉末的方法，其特征在于，包括：
采用APS等离子喷枪对经过预处理的铝粉进行氮气双送粉，所述氮气的气体流量为20±2L/min；
所述氮气送粉的方法包括：将经过除湿预处理的所述铝粉装入所述APS等离子喷枪的送粉系统，将氮气瓶的送气管与所述APS等离子喷枪的喷枪口的小喷嘴连接，设定喷涂工艺后启弧，向充满氮气的干锅桶中送粉；所述喷涂工艺包括：电流：650±25A，电压：70～85V，氢气流量：9.5±1L/min，氩气流量：40±2L/min，喷距：110±5mm，送粉量：110±5g/min，走枪速度为10±2mm/sec。
2.根据权利要求1所述的APS等离子制备氮化铝粉末的方法，其特征在于，所述铝粉的粒径为5～45μm，所述铝粉的形状为球形。
3.根据权利要求1所述的APS等离子制备氮化铝粉末的方法，其特征在于，所述预处理包括在50～80℃的条件下对所述铝粉烘干20～40min。
4.根据权利要求1所述的APS等离子制备氮化铝粉末的方法，其特征在于，所述APS等离子喷枪喷出氮化铝粉末后，将所述氮化铝粉末用400～600目筛的筛子进行筛选，对筛下物进行干燥处理。
5.根据权利要求4所述的APS等离子制备氮化铝粉末的方法，其特征在于，干燥后的所述氮化铝粉末的湿度为50度以下。
6.一种氮化铝粉末，其特征在于，由如权利要求1至5任一项所述的APS等离子制备氮化铝粉末的方法制备而成。
7.如权利要求6所述的氮化铝粉末在制备电子器件中的应用。
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