[发明专利]一种弧形工件激光直写曝光方法

权利要求书

1.一种弧形工件激光直写曝光方法，其包括以下步骤：

S1、将弧形工件固定在一个可摆动的座体上，该弧形工件具有一个内凹的圆柱面状的待曝光面，该座体的摆动中心与圆柱状的待曝光面的中心轴重合；定义与所述中心轴平行的方向线为X轴，将DMD曝光镜头安装在一个可沿X轴滑动的X滑座上，该DMD曝光镜头朝向待曝光面且径向设置，定义该径向方向为Y轴方向；

S2、位置初始化

X滑座滑动使DMD曝光镜头处于待曝光面的第一侧边的初始侧曝光位置，座体摆动使DMD曝光镜头处于待曝光面的第一端部的初始端曝光位置；

S3、座体带动弧形工件由第一端部的初始端曝光位置摆向第二端部的中止端曝光位置，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上形成一条曝光带；

S4、X滑座向待曝光面的第二侧边移动一个曝光带的宽度；

S5、座体带动弧形工件由第二端部的中止端曝光位置摆向第一端部的初始端曝光位置，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上再次形成一条曝光带；

S6、X滑座向待曝光面的第二侧边移动一个曝光带的宽度；

S7、重复步骤S3至S6，直至弧形工件的待曝光面全部完成曝光。

2.如权利要求1所述的一种弧形工件激光直写曝光方法，其特征在于：所述激光直写曝光方法还包括对DMD曝光镜头的焦距调整：

将DMD曝光镜头先安装在一个沿Y轴滑动的Y滑座上，然后Y滑座再安装在X滑座上，X轴方向为扫描方向；Y方向为焦距调整方向，利用Y滑座在Y轴的滑动调整DMD曝光镜头和待曝光面之间的距离，进而调整焦距。

3.如权利要求2所述的一种弧形工件激光直写曝光方法，其特征在于：该激光直写曝光方法还包括用于校准DMD曝光镜头的位置与Y轴位置是否重合的校准方法。

4.如权利要求3所述的一种弧形工件激光直写曝光方法，其特征在于：所述X轴和Y轴均水平布置，该DMD曝光镜头在Z轴方向上微调滑动，Z轴垂直于X轴和Y轴所在的XY平面，在座体上边缘固定了沿Y轴方向布置的校准相机，利用该校准相机对DMD曝光镜头拍摄的位置照片来确定DMD曝光镜头和校准相机之间是否共线，当DMD曝光镜头的位置偏离了Y轴，则在Z轴方向上微调DMD曝光镜头的位置，最终使DMD曝光镜头和校准相机共线。

5.如权利要求4所述的一种弧形工件激光直写曝光方法，其特征在于：所述座体为柱面座体，弧形工件通过负压吸附在柱面座体的吸附面上。

6.如权利要求5所述的一种弧形工件激光直写曝光方法，其特征在于：该柱面座体摆动由力矩电机驱动，当待曝光面曝光完成后，柱面座体由力矩电机摆动至上料工位，在上料工位处完成弧形工件的上料和下料。