[发明专利]一种弧形工件激光直写曝光方法

说明书

本发明公开了一种弧形工件激光直写曝光方法，其包括以下步骤：S1、将弧形工件固定在一个可摆动的座体上，将DMD曝光镜头安装在X滑座上；S2、位置初始化；S3、座体带动弧形工件摆动，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上形成一条曝光带；S4、X滑座移动一个曝光带的宽度；S5、座体带动弧形工件摆动，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上再次形成一条曝光带；S6、X滑座移动一个曝光带的宽度；S7、重复步骤S3至S6，直至弧形工件的待曝光面全部完成曝光。该激光直写曝光方法可以对弧形工件的内凹的圆柱面状的待曝光面进行曝光，使曝光图像清晰，曝光动作可靠。

技术领域

本发明涉及一种激光直写曝光方法，尤其涉及一种弧形工件激光直写曝光方法。

背景技术

近来，利用激光进行的直接描画的技术(Laser Direct Imaging,LDI)，即不需要底片的无光罩曝光方式，正在广泛地被使用，以取代传统利用光罩的汞灯曝光模式。此种激光直接曝光方目前还是存在一个缺点，就是激光直接曝光设备一般都是只能对平面的工件表面曝光，而无法对弧形工件的表面曝光，而激光直写曝光设备在平面上曝光的方式是利用DMD曝光镜头在平面上进行扫描曝光，但是对于弧形工件的表面没有其表面是弧形因此就难以完成。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种弧形工件激光直写曝光方法，该激光直写曝光方法可以对弧形工件的内凹的圆柱面状的待曝光面进行曝光，使曝光图像清晰，曝光动作可靠。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种弧形工件激光直写曝光方法，其包括以下步骤：

S1、将弧形工件固定在一个可摆动的座体上，该弧形工件具有一个内凹的圆柱面状的待曝光面，该座体的摆动中心与圆柱状的待曝光面的中心轴重合；定义与所述中心轴平行的方向线为X轴，将DMD曝光镜头安装在一个可沿X轴滑动的X滑座上，该DMD曝光镜头朝向待曝光面且径向设置，定义该径向方向为Y轴方向；

S2、位置初始化

X滑座滑动使DMD曝光镜头处于待曝光面的第一侧边的初始侧曝光位置，座体摆动使DMD曝光镜头处于待曝光面的第一端部的初始端曝光位置；

S3、座体带动弧形工件由第一端部的初始端曝光位置摆向第二端部的中止端曝光位置，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上形成一条曝光带；

S4、X滑座向待曝光面的第二侧边移动一个曝光带的宽度；

S5、座体带动弧形工件由第二端部的中止端曝光位置摆向第一端部的初始端曝光位置，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上再次形成一条曝光带；

S6、X滑座向待曝光面的第二侧边移动一个曝光带的宽度；

S7、重复步骤S3至S6，直至弧形工件的待曝光面全部完成曝光。

优选的，所述激光直写曝光方法还包括对DMD曝光镜头的焦距调整：

将DMD曝光镜头先安装在一个沿Y轴滑动的Y滑座上，然后Y滑座再安装在X滑座上，X轴方向为扫描方向；Y方向为焦距调整方向，利用Y滑座在Y轴的滑动调整DMD曝光镜头和待曝光面之间的距离，进而调整焦距。

优选的，该激光直写曝光方法还包括用于校准DMD曝光镜头的位置与Y轴位置是否重合的校准方法。

优选的，所述X轴和Y轴均水平布置，该DMD曝光镜头在Z轴方向上微调滑动，Z轴垂直于X轴和Y轴所在的XY平面，在座体上边缘固定了沿Y轴方向布置的校准相机，利用该校准相机对DMD曝光镜头拍摄的位置照片来确定DMD曝光镜头和校准相机之间是否共线，当DMD曝光镜头的位置偏离了Y轴，则在Z轴方向上微调DMD曝光镜头的位置，最终使DMD曝光镜头和校准相机共线。