[发明专利]进气装置及反应腔室在审
申请号: | 201910138374.2 | 申请日: | 2019-02-25 |
公开(公告)号: | CN111613508A | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 王乐;柳朋亮 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 反应 | ||
1.一种进气装置,其特征在于,包括进气本体和喷嘴,所述进气本体的上端面设有环形凹道,在所述进气本体的环形凹道处设置有安装孔,所述喷嘴中设置有进气孔,所述喷嘴可拆卸的安装在所述安装孔中,且所述进气孔与所述环形凹道连通。
2.根据权利要求1所述的进气装置,其特征在于,在所述安装孔的孔壁上设置有第一凸部;
所述喷嘴的外壁上设置有第二凸部,所述喷嘴的所述第二凸部叠置在所述安装孔的所述第一凸部上;在所述第一凸部和所述第二凸部相互叠置的两个表面之间设置有密封圈。
3.根据权利要求2所述的进气装置,其特征在于,所述安装孔的上端开设在所述环形凹道的底部,所述安装孔的下端开设在所述进气本体的下端面;所述喷嘴与所述安装孔间隙配合,所述进气孔贯通所述喷嘴的两端,所述进气孔的上端与所述环形凹道相连通。
4.根据权利要求2所述的进气装置,其特征在于,所述安装孔的上端开设在所述进气本体的上端面,所述安装孔的下端开设在所述进气本体的下端面;
所述喷嘴与所述安装孔间隙配合,所述喷嘴的上部设有连通槽,所述进气孔的下端开设在所述喷嘴的下端面,所述进气孔的上端通过所述连通槽与所述环形凹道相连通。
5.根据权利要求2-4任意一项所述的进气装置,其特征在于,所述喷嘴的材料包括陶瓷或者石英。
6.根据权利要求1所述的进气装置,其特征在于,在所述安装孔的孔壁上设置有内螺纹;
所述喷嘴的外周壁上设置有与所述内螺纹相配合的外螺纹;所述喷嘴螺纹连接在所述安装孔内。
7.根据权利要求6所述的进气装置,其特征在于,所述安装孔包括由上而下同轴设置的螺纹孔和扩孔,其中,
所述扩孔的直径大于所述螺纹孔的直径;所述螺纹孔的上端开设在所述环形凹道的底部,所述扩孔的下端开设在所述进气本体的下端面;
所述喷嘴包括由上而下依次设置的第一本体和第二本体,其中,在所述第一本体的外周壁上设置有所述外螺纹并螺纹连接在所述螺纹孔中;所述第二本体设置在所述扩孔中,所述第二本体的直径大于所述第一本体的直径;
所述进气孔贯通所述喷嘴的两端,所述进气孔的上端与所述环形凹道相连通。
8.根据权利要求6所述的进气装置,其特征在于,所述安装孔包括由上而下同轴设置的螺纹孔和扩孔,其中,
所述扩孔的直径大于所述螺纹孔的直径;所述螺纹孔的上端开设在所述进气本体的上端面,所述扩孔的下端开设在所述进气本体的下端面;
所述喷嘴包括由上而下依次设置的第一本体和第二本体,其中,在所述第一本体的外周壁上设置有所述外螺纹并螺纹连接在所述螺纹孔中;所述第二本体设置在所述扩孔中,所述第二本体的直径大于所述第一本体的直径;
所述喷嘴的上部设有连通槽,所述进气孔的下端开设在所述喷嘴的下端面,所述进气孔的上端通过所述连通槽与所述环形凹道相连通。
9.根据权利要求7或8所述的进气装置,其特征在于,在所述第二本体朝向所述螺纹孔的端面与所述扩孔的相对面之间设置有密封圈。
10.根据权利要求6-8任意一项所述的进气装置,其特征在于,所述喷嘴的材料包括金属。
11.一种反应腔室,其特征在于,包括如权利要求1-10任意一项的所述进气装置。
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