[发明专利]蒸镀装置及其控制方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀腔体，该蒸镀腔体的一个表面设有多个蒸镀孔；

第一蒸镀源，通过第一管道与第二管道连通；

第二蒸镀源，通过第三管道与所述第二管道连通；

所述第二管道与所述蒸镀腔体连通，且所述第一管道、第二管道和第三管道连接处设有第一阀门。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

控制装置，与所述第一阀门连接；

其中，该控制装置用以在所述第一蒸镀源中的气体使用完时，控制所述第一阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第二蒸镀源。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

气体传感器，设置于所述第一蒸镀源中，用以检测该第一蒸镀源中的气体含量；

所述控制装置，与所述气体传感器连接，用于接收该气体传感器输出的气体含量值，在该气体含量值为预设值时控制所述第一阀门切换。

4.根据权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一阀门为三通电控阀门。

5.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

第三蒸镀源，该第三蒸镀源通过第四管道与所述第二管道连通；其中第四管道上设有第二阀门，该第二阀门与控制装置连接；

当第一蒸镀源和第二蒸镀源中的气体使用完时，所述控制装置控制第一阀门和第二阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第三蒸镀源。

6.一种蒸镀装置的控制方法，其特征在于，应用于权利要求1所述的蒸镀装置；该方法包括：

调节第一阀门使蒸镀腔体连通至第一蒸镀源；

当第一蒸镀源的气体使用完时，调节第一阀门使蒸镀腔体连通至第二蒸镀源。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述蒸镀装置还包括与所述第一阀门连接的控制装置；

所述当第一蒸镀源的气体使用完时，调节第一阀门使蒸镀腔体连通至第二蒸镀源，包括：

所述控制装置在所述第一蒸镀源中的气体使用完时，控制所述第一阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第二蒸镀源。

8.根据权利要求7所述的控制方法，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置于蒸镀源中且与控制装置连接的气体传感器；

所述控制装置在所述第一蒸镀源中的气体使用完时，控制所述第一阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第二蒸镀源，包括：

所述气体传感器检测第一蒸镀源中的气体含量；

所述控制装置接收该气体传感器输出的气体含量值，在该气体含量值为预设值时控制第一阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第二蒸镀源。

9.根据权利要求7或8所述的控制方法，其特征在于，所述第一阀门为三通电控阀门。

10.根据权利要求6或7所述的控制方法，其特征在于，所述蒸镀装置还包括第三蒸镀源，该第三蒸镀源通过第四管道与所述第二管道连通，其中第四管道上设有第二阀门，该第二阀门与控制装置连接；该方法还包括：

当第一蒸镀源和第二蒸镀源中的气体使用完时，所述控制装置控制第一阀门和第二阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第三蒸镀源。