[发明专利]蒸镀装置及其控制方法

说明书

本申请提供一种蒸镀装置及其控制方法，涉及真空蒸镀技术领域。该蒸镀装置包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体的一个表面设有多个蒸镀孔；第一蒸镀源，通过第一管道与第二管道连通；第二蒸镀源，通过第三管道与所述第二管道连通；所述第二管道与所述蒸镀腔体连通，且所述第一管道、第二管道和第三管道连接处设有第一阀门。本申请可以可在不停机的情况下切换蒸镀源，使蒸镀装置持续作业，提升蒸镀装置的稼动率。

技术领域

本申请涉及真空蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀装置的控制方法。

背景技术

蒸镀源厂商不断致力开发提升蒸镀源整体特性，包括提升蒸镀材料使用效率、蒸镀膜的均匀性、速率控制稳定性及拉长蒸镀源作业时间等。在现行蒸镀源中又以线蒸镀源为主流，常见的线蒸镀源有T型蒸镀源。参考图1所示，现行的T型蒸镀源设计架构包括蒸镀源1和蒸镀腔体2，蒸镀腔体2的一个表面设有蒸镀孔3，蒸镀源1和蒸镀腔体2通过管道4进行连通，蒸镀工艺进行过程中蒸镀源1进行加热将内部材料蒸发至蒸镀腔体2之后，再透过蒸镀腔体2的蒸镀孔3将蒸镀气5镀到基板6上。

上述技术方案中，一般厂商的线蒸镀源设计连续作业使用时间约为192～240小时，之后将因蒸镀材料消耗殆尽而需停机进行材料更换，影响蒸镀装置的稼动率。

因此，有必要提供一种新的技术方案改善上述方案中存在的蒸镀源需停机更换材料影响稼动率的问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本发明的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀装置及蒸镀装置的控制方法，以期拉长蒸镀装置作业时间，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的蒸镀装置需停机更换材料影响稼动率的问题。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种蒸镀装置，包括：

蒸镀腔体，所述蒸镀腔体的一个表面设有多个蒸镀孔；

第一蒸镀源，通过第一管道与第二管道连通；

第二蒸镀源，通过第三管道与第二管道连通，该第二管道与蒸镀腔体连通，且第一管道、第二管道和第三管道连接处设有第一阀门。

本实施例中，在进行蒸镀工艺时，调节第一阀门，使蒸镀腔体与第一蒸镀源连通，待第一蒸镀源中的气体使用完时，调节第一阀门，使蒸镀腔体与第二蒸镀源连通进而使蒸镀装置持续作业。

在一个实施例中，所述蒸镀装置还可以包括控制装置，所述控制装置与所述第一阀门连接；所述控制装置用以在所述第一蒸镀源中的气体使用完时，控制所述第一阀门切换，使得所述蒸镀腔体连通至第二蒸镀源。

在一个实施例中，所述蒸镀装置还可以包括气体传感器，所述气体传感器设置于所述第一蒸镀源中，用以检测所述第一蒸镀源中的气体含量；所述控制装置与所述气体传感器连接，用于接收所述气体传感器输出的气体含量值，在该气体含量值为预设值时控制所述第一阀门切换。

在一个实施例中，所述第一阀门可以是三通电控阀门。

在一个实施例中，蒸镀装置还可以包括第三蒸镀源，第三蒸镀源通过第四管道与第二管道连通，第二管道上设有第二阀门，第二阀门与所述控制装置连接。当第一蒸镀源和第二蒸镀源中的气体使用完时，控制装置控制第一阀门和第二阀门切换，使得蒸镀腔体连通至第三蒸镀源。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种适用于上述蒸镀装置的控制方法。该控制方法包括：

调节第一阀门使蒸镀腔体连通至第一蒸镀源；

当第一蒸镀源的气体使用完时，调节第一阀门使蒸镀腔体连通至第二蒸镀源。