[发明专利]一种非原位制备HoB2 有效
申请号: | 201910146414.8 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN109763108B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 李月明;赵国瑞;盛立远;都贝宁;吴忠振 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究院 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/58 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 万永泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 原位 制备 hob base sub | ||
本发明属于高性能陶瓷涂层技术领域,公开了一种非原位制备HoB2C2陶瓷涂层的方法,包括以下步骤:S1、混粉:以HoB4、Ho、C粉或HoB4、HoC2、C粉为原料粉,加入酒精为介质,通过球磨、静置干燥、过筛得到混合均匀的粉料;S2、热压烧结制备靶材:将粉料装入模具,然后冷压成型,之后放入热压炉中进行热压烧结,通入流动的Ar气,温度为700~1000℃,施加压力为30~50MPa,保温时间为0.5~2h,得到Ho‑B‑C块体;S3、制备Ho‑B‑C非晶涂层:以Ho‑B‑C块体作为靶材,采用磁控溅射或多弧离子镀沉积涂层,制备Ho‑B‑C非晶涂层;S4、热处理:对Ho‑B‑C非晶涂层热处理,在保护性气氛中于800~1200℃保温1~20h,降温之后获得以HoB2C2为主相的涂层。本发明的方法具有操作简单、工艺条件易于控制、成本低、效率高的优点。
技术领域
本发明属于高性能陶瓷涂层技术领域,具体是一种非原位制备HoB2C2陶瓷涂层的方法。
背景技术
HoB2C2,其晶体结构可以描述为Ho片层与B2C2在c轴方向上交替堆垛而成。因其独特的晶体结构而具有优异的性能,比如良好的可加工性、抗损伤、耐高温、耐辐照等特性,因而此类材料在航空航天、核材料、电池等领域有潜在的广泛应用前景。尤其是,HoB2C2作为耐磨损、抗高温烧蚀、抗辐照等方面的涂层材料有极大的发展潜力,因此发展一种低温高效制备HoB2C2涂层的工艺具有非常重要的意义。
目前传统的涂层制备方式主要是采用磁控溅射的方法,在高温原位沉积制备涂层。对于HoB2C2涂层,原理上可以采用HoB2C2块体靶材进行磁控溅射,并加热到较高的温度以获得HoB2C2结构的涂层。但是由于HoB2C2块体材料的制备非常困难,需要高温(约1800℃)、高压和长时间保温,成本昂贵,难于制备合适的靶材;此外,HoB2C2的成分区间比较窄,而沉积过程中涂层的成分容易偏离靶材,因而难以满足计量比,导致无法形成HoB2C2;再次,由于HoB2C2的晶体结构较为复杂,理论上沉积过程中需要将基体加热到较高的沉积温度(>700℃),对设备要求较高,条件苛刻,因此目前尚未有关制备出HoB2C2涂层的相关报道,严重制约了其发展。因此,发展一种低成本易操作的制备HoB2C2陶瓷涂层的方法,对研究其性能及推广具有重要的意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种成本低、效率高的非原位制备HoB2C2陶瓷涂层的方法。
为达到上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种非原位制备HoB2C2陶瓷涂层的方法,包括以下步骤:
S1、混粉:以HoB4、Ho、C粉或HoB4、HoC2、C粉为原料粉,加入酒精为介质,通过球磨、静置干燥、过筛得到混合均匀的粉料;
S2、热压烧结制备靶材:将粉料装入模具,然后冷压成型,之后放入热压炉中进行热压烧结,通入流动的Ar气,温度为700~1000℃,施加压力为30~50MPa,保温时间为0.5~2h,得到Ho-B-C块体;
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