[发明专利]一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910147363.0 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109609914A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 丁敏;高峰;王宝友;陈策;方刚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 刘昕;南霆 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导热 坩埚 加热控制 蒸镀设备 坩埚本体 容纳腔 加热稳定性 受热 不均匀 均匀性 热传导 内层 蒸镀 加热 容纳 申请 保证 | ||
1.一种坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。
2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第一导热部外壁设置有第一电热层，所述第二导热部内壁设置有第二电热层。
3.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一电热层和所述第二电热层为电阻丝，所述第一电热层和所述第二电热层交错分布。
4.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚本体上方且具有外凸形状的顶盖；
其中，所述顶盖的边缘与所述坩埚本体的第一导热部的顶端对接，所述顶盖的中心开口的内径小于所述坩埚本体的第二导热部的内径。
5.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚本体下方的至少一个导轨；
其中，所述第一导热部的外壁设置的第一电热层的底部设置在第一导轨上，和/或，所述第二导热部的内壁设置的第二电热层的底部设置在第二导轨上。
6.如权利要求5所述的坩埚，其特征在于，还包括：驱动电机；
其中，所述驱动电机用于控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动，或者，
所述驱动电机用于控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动。
7.如权利要求6所述的坩埚，其特征在于，还包括：驱动齿轮和传动齿轮；
其中，所述驱动电机直接控制所述驱动齿轮转动；
所述驱动电机控制所述第二电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动；
或者，所述驱动电机控制所述第一电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动。
8.如权利要求2-7任一项所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述第一电热层外壁一侧的第一辅助电热层，和/或，设置在所述第二电热层内壁一侧的第二辅助电热层。
9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的坩埚。
10.一种对权利要求1-8任一项所述的坩埚的加热控制方法，其特征在于，包括：
开启坩埚；
控制所述第一导热部和所述第二导热部预热第一时长；
控制所述第一导热部和所述第二导热部加热第二时长；
待坩埚温度稳定后，控制所述第一导热部与第二导热部之间的容纳腔内的物料蒸发。
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