[发明专利]一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备

说明书

本申请公开了一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备，用以解决现有技术中存在的加热稳定性差、加热不均匀的问题。该坩埚包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成用于容纳物料的容纳腔。这样，可以借助第一导热部以及第二导热部进行均匀、稳定热传导，容纳腔内物料可以均匀、稳定受热，进而保证后续蒸镀均匀性。

技术领域

本申请涉及工艺设备技术领域，尤其涉及一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备。

背景技术

真空蒸发镀膜(简称蒸镀)是指在真空条件下，加热蒸发物料使之气化蒸发并沉积在被镀物体表面的过程。

当前的蒸镀工艺中所使用的坩埚，需要反复加热坩埚外壁的电阻丝以实现对物料的加热，目前的坩埚存在加热稳定性差、受热不均匀的问题，影响镀膜均一性，降低生产良率。

发明内容

本申请实施例提供一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备，用以解决现有技术中存在的加热稳定性差、受热不均匀的问题。

为了解决上述技术问题，本申请实施例采用下述技术方案：

一种坩埚，包括：

坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。

可选地，所述第一导热部外壁设置有第一电热层，所述第二导热部内壁设置有第二电热层。

可选地，所述第一电热层和所述第二电热层为电阻丝，所述第一电热层和所述第二电热层交错分布。

可选地，还包括：设置在所述坩埚本体上方且具有外凸形状的顶盖；

其中，所述顶盖的边缘与所述坩埚本体的第一导热部的顶端对接，所述顶盖的中心开口的内径小于所述坩埚本体的第二导热部的内径。

可选地，还包括：设置在所述坩埚本体下方的至少一个导轨；

其中，所述第一导热部的外壁设置的第一电热层的底部设置在第一导轨上，和/或，所述第二导热部的内壁设置的第二电热层的底部设置在第二导轨上。

可选地，还包括：驱动电机；

其中，所述驱动电机用于控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动，或者，

所述驱动电机用于控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动。

可选地，还包括：驱动齿轮和传动齿轮；

其中，所述驱动电机直接控制所述驱动齿轮转动；

所述驱动电机控制所述第二电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动；

或者所述驱动电机控制所述第一电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动。

可选地，还包括：设置在所述第一电热层外壁一侧的第一辅助电热层，和/或，设置在所述第二电热层内壁一侧的第二辅助电热层。

一种蒸镀设备，包括所述的坩埚。

一种对所述的坩埚的加热控制方法，包括：

开启坩埚；

控制所述第一导热部和所述第二导热部预热第一时长；

控制所述第一导热部和所述第二导热部加热第二时长；

待坩埚温度稳定后，控制所述第一导热部与第二导热部之间的容纳腔内的物料蒸发。