[发明专利]一种晶体提拉机构及晶体生长装置在审
| 申请号： | 201910151553.X | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111621843A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 沈伟民;刘大海 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 机构 晶体生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体提拉机构，其特征在于，包括：
腔体；
晶体提拉单元，所述晶体提拉单元位于所述腔体中，配置为通过提拉晶绳提拉晶体；
颗粒捕获单元，所述颗粒捕获单元位于所述腔体中，配置为捕获所述提拉晶绳上吸附的颗粒物。
2.如权利要求1所述的晶体提拉机构，其特征在于，所述颗粒捕获单元包括电磁体。
3.如权利要求1所述的晶体提拉机构，其特征在于，所述颗粒捕获单元与所述提拉晶绳相邻设置。
4.如权利要求1所述的晶体提拉机构，其特征在于，所述晶体提拉单元包括滑轮和用于缠绕所述提拉晶绳的转鼓。
5.如权利要求4所述的晶体提拉机构，其特征在于，所述滑轮和所述转鼓由不锈钢制成。
6.如权利要求1所述的晶体提拉机构，其特征在于，所述提拉晶绳由数组钨丝捻绕而成。
7.如权利要求1所述的晶体提拉机构，其特征在于，所述腔体中为真空或者充满惰性气体。
8.一种晶体生长装置，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的晶体提拉机构。
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