[发明专利]柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法有效
申请号: | 201910152702.4 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN109904106B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 杨宁 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 马永芬 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制备 方法 | ||
1.一种柔性显示面板,其特征在于,包括:
依次层叠设置的第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层,所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率;
所述第一炭化层包括多个子炭化区域,相邻所述子炭化区域之间具有间隙,第一柔性衬底还填充于所述间隙中,所述显示结构层包括多个TFT器件,多个所述子炭化区域在所述显示结构层上的投影分别位于多个所述TFT器件区域内。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,还包括:
阻隔层,设置于所述第一炭化层靠近所述显示结构层一侧的表面,或者设置于所述第一柔性衬底远离所述显示结构层一侧的表面;
第二柔性衬底,设置于所述阻隔层远离所述第一柔性衬底的一侧。
3.根据权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,还包括第二炭化层,设置于所述第二柔性衬底靠近所述显示结构层一侧的表面,所述第二炭化层的激光透过率小于所述第二柔性衬底的激光透过率。
4.根据权利要求3所述的柔性显示面板,其特征在于,还包括:无机膜层,设置于所述第一炭化层和所述阻隔层之间;或者,设置于所述第二炭化层和所述阻隔层之间。
5.根据权利要求3所述的柔性显示面板,其特征在于,
所述第一炭化层中碳元素质量含量为60%~80%;和/或,所述第二炭化层中碳元素质量含量为60%~80%。
6.根据权利要求3-5任一项所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第二炭化层包括多个子炭化区域,第二炭化层的相邻所述子炭化区域之间具有间隙,所述第二柔性衬底填充于所述第二炭化层的相邻所述子炭化区域之间的间隙中。
7.一种柔性显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
在载体基板上形成第一柔性衬底;
在所述第一柔性衬底固化后,利用激光对所述第一柔性衬底远离所述载体基板一侧的表面进行炭化,形成第一炭化层;所述第一炭化层包括多个子炭化区域,相邻所述子炭化区域之间具有间隙,第一柔性衬底还填充于所述间隙中,显示结构层包括多个TFT器件,多个所述子炭化区域在所述显示结构层上的投影分别位于多个所述TFT器件区域内;
在所述第一炭化层上形成显示结构层;
利用激光对所述第一柔性衬底靠近所述载体基板一侧的表面进行炭化,使得所述第一柔性衬底与所述载体基板分离。
8.根据权利要求7所述的柔性显示面板的制备方法,其特征在于,形成第一炭化层之后,形成所述显示结构层之前,还包括:
在所述第一炭化层上形成阻隔层;
在所述阻隔层远离所述第一炭化层一侧形成第二柔性衬底;
形成所述显示结构层之后,所述显示结构层位于所述第二柔性衬底远离阻隔层的一侧。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板的制备方法,其特征在于,在所述阻隔层远离所述第一炭化层一侧形成第二柔性衬底之后,形成显示结构层之前,所述方法还包括:在所述第二柔性衬底固化之后,利用激光对所述第二柔性衬底远离所述载体基板一侧的表面进行炭化,形成第二炭化层。
10.根据权利要求9所述的柔性显示面板的制备方法,其特征在于,
在所述第一炭化层上形成阻隔层之前,在所述第一炭化层上形成无机膜层;或者,
在所述第一炭化层上形成阻隔层之前,对所述第一炭化层远离所述载体基板一侧的表面进行粗化。
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