[发明专利]柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法有效
申请号: | 201910152702.4 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN109904106B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 杨宁 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 马永芬 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制备 方法 | ||
本发明提供了一种柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法,其中,该柔性显示面板包括:依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层,所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率。上述柔性显示面板中的第一炭化层的激光透过率较第一柔性衬底的激光透过率小,能够有效阻挡从第一柔性衬底远离显示结构层一侧的表面射入到显示结构层的激光,使得进入显示结构层的激光能量减少,降低激光的透过率,避免了显示结构层受到激光的影响,进而降低激光对显示结构层中的薄膜晶体管的电学性能产生影响,延长了显示器件的使用寿命。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法。
背景技术
随着显示技术的发展,柔性显示装置获得越来越广泛的应用。由于柔性显示面板的衬底为柔性衬底,现有的柔性显示面板的制作主要是以基板作为载具承载着柔性衬底,再在柔性衬底上形成显示器件,最后将柔性衬底和载体基板分离得到柔性显示面板。
在柔性基板制程过程中,柔性衬底与载体基板的剥离是整个制程最重要的环节之一,目前常用的剥离方法是用激光器对柔性衬底与载体基板接触表面进行炭化,降低柔性衬底的粘附性,从而将柔性衬底与载体基板分离,在用激光炭化柔性衬底的过程中,较高的激光能量对薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称为TFT)器件的电学性能产生影响,所以降低激光器在剥离过程中对TFT器件电性的影响是非常重要的课题。
发明内容
有鉴于此,本发明实施例提供了一种柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法,以解决现有技术中采用激光将柔性衬底与载体基板进行分离,激光能量会对薄膜晶体管的电学性能产生影响的问题。
为此,本发明实施例提供了如下技术方案:
本发明第一方面,提供了一种柔性显示面板,包括:依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层,所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率。
可选地,还包括:阻隔层,设置于所述第一炭化层靠近所述显示结构层一侧的表面,或者设置于所述第一柔性衬底远离所述显示结构层一侧的表面;第二柔性衬底,设置于所述阻隔层远离所述第一柔性衬底的一侧。由于两层柔性衬底直接粘结时的粘附力较低,故在两层柔性衬底之间增加一层阻隔层,使得设置在其上的第二柔性衬底的形成过程更加简单、便捷且粘附性较高,增加第一柔性衬底和第二柔性衬底的粘合。此外,柔性衬底包括两层,即第一柔性衬底和第二柔性衬底,相较于一层柔性衬底来说,为了满足柔性衬底的厚度需求采用两层叠层设置,降低了对每一层柔性衬底的厚度要求,使得每一层的制作难度降低,工艺可控性更高,并且每一层的膜层厚度更易控制,形成的膜层均一性较好。
可选地,还包括第二炭化层,设置于所述第二柔性衬底靠近所述显示结构层一侧的表面,所述第二炭化层的激光透过率小于所述第二柔性衬底的激光透过率。通过将双层柔性衬底上表面炭化,使得在LLO激光剥离过程中激光透过率进一步降低,达到LLO剥离对TFT器件电学性能影响降低的效果。
可选地,还包括:无机膜层,设置于所述第一炭化层和所述阻隔层之间;或者,设置于所述第二炭化层和所述阻隔层之间。无机膜层能够增加炭化层与阻隔层之间的摩擦力,进而增加两者之间的粘附力,避免炭化层与阻隔层的分离。
可选地,所述第一炭化层中碳元素的质量含量为60%~80%;和/或,所述第二炭化层中碳元素质量含量为60%~80%,这样既能够有效阻挡激光的透过,又能够保证柔性衬底的粘附性,避免相邻膜层间的裂开,延长使用寿命。
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