[发明专利]用于晶圆图像生成的方法和系统

权利要求书

1.一种根据计算机辅助设计CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法，所述方法包括：

由分割引擎将根据所述CAD文件获得的线框图像分割成多个实体；

由图像变换引擎基于所述线框图像、计量、设计规范、工艺信息和光学信息中的至少一个来对所述多个实体中的每一个执行变换，其中所述变换是基于所述光学信息迭代地执行的；以及

由拼接引擎通过对变换后的多个实体中的每一个进行组合，生成包括预定义数量的切片在内的管芯张量。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述工艺信息包括工艺事件数据、由至少一个工艺设备中的传感器收集的数据、以及至少一个工艺的元数据。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，基于对所述管芯张量的外观的影响，对根据所述没计规范生成的管芯的特征进行聚类。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，基于对所述管芯张量的外观的影响，对所述光学信息中的光学参数和光学条件进行聚类。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，由时间序列编码器获得所述工艺事件数据和由传感器收集的数据，以对所述工艺信息执行特征提取；并且基于所述元数据对所述工艺信息进行分组。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，由代码调节器基于提取的特征和分组的工艺信息向所述图像变换引擎提供所述至少一个工艺的健康状况。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，由光学检查器基于从反馈单元接收的误差图像来更新所述光学信息，其中通过在所生成的管芯张量与所述晶圆的图像之间执行图像操作来生成所述误差图像。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述切片包括参考图像、所述参考图像的灰度分布、所述晶圆中的管芯的位置、以及遍及所述晶圆的厚度变化。

9.一种用于根据计算机辅助设计CAD文件生成晶圆的管芯张量的装置，所述装置包括：

分割引擎，被配置为将根据所述CAD文件获得的线框图像分割成多个实体；

图像变换引擎，被配置为基于所述线框图像、计量、设计规范、工艺信息和光学信息中的至少一个来对所述多个实体中的每一个执行变换，其中所述变换是基于所述光学信息迭代地执行的；以及

拼接引擎，被配置为通过对变换后的多个实体中的每一个进行组合来生成包括预定义数量的切片在内的管芯张量。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述工艺信息包括工艺事件数据、由至少一个工艺设备中的传感器收集的数据、以及至少一个工艺的元数据。

11.根据权利要求9所述的装置，其中，基于对所述管芯张量的外观的影响对根据所述设计规范生成的管芯的特征进行聚类。

12.根据权利要求9所述的装置，其中，基于对所述管芯张量的外观的影响来对所述光学信息中的光学参数和光学条件进行聚类。

13.根据权利要求10所述的装置，其中，所述装置还包括：时间序列编码器，用于获取所述工艺事件数据和由传感器收集的数据，以对所述工艺信息执行特征提取；以及基于所述元数据对所述工艺信息进行分组。

14.根据权利要求13所述的装置，其中，由代码调节器基于提取的特征和分组的工艺信息向所述图像变换引擎提供所述至少一个工艺的健康状况。

15.根据权利要求9所述的装置，其中，由光学检查器基于从反馈单元接收的误差图像来更新所述光学信息，其中通过在所生成的管芯张量与所述晶圆的图像之间执行图像操作来生成所述误差图像。

16.根据权利要求9所述的装置，其中，所述切片包括参考图像、所述参考图像的灰度分布、晶圆中的管芯的位置、以及遍及晶圆的厚度变化。