[发明专利]靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201910156421.6 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111636053A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;马国成 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C38/10;C22C38/12;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 方法 | ||
1.一种靶材的制备方法，其特征在于，包括：
提供铁钴钽混合粉，其中，铁为平衡相，钴的原子百分比为28.5％-29.5％，钽的原子百分比为17.5％-18.5％；
将所述混合粉放入脱气装置中进行脱气工艺。
2.如权利要求1所述制备方法，其特征在于，将所述混合粉放入脱气装置中进行脱气工艺之前，还包括：提供包套，将所述混合粉放入所述包套中进行装模。
3.如权利要求2所述制备方法，其特征在于，将所述混合粉进行装模前，还包括：提供V型混粉机，将所述混合粉进行混粉工艺。
4.如权利要求3所述制备方法，其特征在于，所述混粉工艺压强控制在0.02Mpa-0.06Mpa，混粉速度为6r/min-15r/min。
5.如权利要求1所述制备方法，其特征在于，所述脱气工艺温度为300℃-600℃，保温时间4h-8h。
6.如权利要求1所述制备方法，其特征在于，所述脱气工艺包括：所述包套内真空度达到5.0E-3Mpa后停止脱气。
7.如权利要求1所述制备方法，其特征在于，将所述混合粉放入脱气装置中进行脱气工艺之后，还包括：将脱气工艺后的所述混合粉进行热等静压烧结工艺。
8.如权利要求7所述制备方法，其特征在于，所述热等静压烧结工艺为冷态增压烧结，包括：
将脱气后的所述混合粉进行预烧结；
将预烧结后的所述混合粉进行热烧结工艺。
9.如权利要求8所述制备方法，其特征在于，所述预烧结工艺为400℃-600℃，保温时间为1h-2h。
10.如权利要求8所述制备方法，其特征在于，所述热烧结工艺温度为700℃-1100℃，保温时间为3h-6h。
11.如权利要求8所述制备方法，其特征在于，所述热烧结工艺中压强为90Mpa-170Mpa。
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