[发明专利]一种半导体芯片的性能检测机构在审
申请号: | 201910158700.6 | 申请日: | 2016-12-26 |
公开(公告)号: | CN109887857A | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 黄红梅 | 申请(专利权)人: | 黄红梅 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转盘 检测装置 半导体芯片 转轴 检测 取料装置 检测孔 载具 操作显示屏 配电控制箱 检测工序 转动电机 转轴套 穿出 上套 配合 一体化 穿过 | ||
1.一种半导体芯片的性能检测机构,包括机架(1)和配电控制箱(2),其特征在于,所述的机架(1)上设置有相互配合的中部转盘检测装置(6),所述的中部转盘检测装置(6)包括与中部转动电机连接的逆时针转动的中部转轴(11),所述的中部转轴(11)从下至上依次套接有中部检测转盘(12)和中部安装转盘(13),所述的中部检测转盘(12)上均匀的开设有检测孔,且中部安装转盘(13)上安装有穿出检测孔的取料装置(14),所述的中部检测转盘(12)的下方依次设置有与取料装置(14)上的半导体芯片配合的光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)和电阻率检测装置(17),所述的电阻率检测装置(17)的个数不少于三个,所述的中部转动电机、侧部转动电机、取料装置(14)、光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)和电阻率检测装置(17)连接到配电控制箱(2)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的性能检测机构,其特征在于,所述的取料装置包括设置在中部安装转盘(13)上的取料安装座(19)和取料升降气缸(20),所述的取料升降气缸(20)与取料安装座(19)内安装的取料升降杆(21)连接,所述的取料升降杆(21)穿出中部检测转盘(12)内的检测孔,且取料升降杆(21)的下方设置有与半导体产品配合的取料吸盘(22),所述的取料升降气缸(20)和取料吸盘(22)连接到配电控制箱(2)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片的性能检测机构,其特征在于,所述的中部检测转盘(12)位于检测孔的位置设置有与取料升降杆(21)配合的取料限位块(23),所述的取料升降杆(21)上设置有取料减震弹簧(24)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的性能检测机构,其特征在于,所述的光电检测装置(15)包括设置在机架(1)上的光电检测座(25),所述的光电检测座(25)上设置有相互配合的光电检测升降气缸(26)和光电检测器(27),且光电检测器(27)的上方设置有光电检测检测块(28),所述的光电检测升降气缸(26)和光电检测器(27)连接到配电控制箱(2)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的性能检测机构,其特征在于,所述的电阻检测装置(16)包括电阻检测座(29),所述的电阻检测座(29)上设置有电阻检测器(31),所述的电阻检测器(31)的两侧设置有与其配合的电阻检测夹块(32),所述的电阻检测夹块(32)配合有电阻检测夹持气缸(30),所述的电阻检测器(31)和电阻检测夹持气缸(30)连接到配电控制箱(2)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造