[发明专利]固体摄像装置

权利要求书

1.一种固体摄像装置，其中，具备：

衬底；

像素，设置在所述衬底的表面；

多个布线层，设置在所述衬底之上，包括第一布线层和设置在所述第一布线层之上的第二布线层；

绝缘层，设置在所述多个布线层之间；

阻挡金属膜，设置在所述第一布线层的表面，并且，未设置在所述第二布线层的表面；以及

多个插塞，设置在所述第一布线层和所述第二布线层之间，将所述第一布线层和所述第二布线层连接，

所述多个插塞沿着所述第二布线层的长度方向以200μm以下的间隔进行配置。

2.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述布线层包括设置在所述第二布线层之上的第三布线层，

在所述第三布线层的表面不设置所述阻挡金属膜，

所述多个插塞还以200μm以下的间隔设置在所述第二布线层和所述第三布线层之间，将所述第二布线层和所述第三布线层连接。

3.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，所述布线层包含铝。

4.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，所述阻挡金属膜包含钛。

5.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，所述阻挡金属膜包含钽。

6.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，所述插塞包含钨。

7.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，所述绝缘层包含氢。

8.一种固体摄像装置，其中，具备：

衬底；

像素，设置在所述衬底的表面；

至少一层的布线层，设置在所述衬底之上，在表面未设置有阻挡金属膜；

多个金属层，设置在所述布线层之下；

绝缘层，设置在所述布线层和所述多个金属层之间；以及

多个插塞，设置在所述布线层和所述多个金属层之间，将所述布线层和所述多个金属层连接，

所述多个金属层在所述绝缘层中设置为岛状。

9.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其中，所述多个插塞沿着所述布线层的长度方向以200μm以下的间隔进行配置。

10.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其中，所述布线层包含铝。

11.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其中，所述插塞包含钨。

12.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其中，所述绝缘层包含氢。