[发明专利]缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法

权利要求书

1.一种缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，包括：

S1：提供待检测晶圆；

S2：通过缺陷检测设备，对晶圆进行缺陷扫描，并根据缺陷扫描结果生成缺陷位置信息文件；

S3：将缺陷位置信息文件传送至缺陷观察设备端；

S4：缺陷观察设备对缺陷位置信息文件内的缺陷进行缺陷检测，且在缺陷检测过程中结合其自身的缺陷自动分类功能对符合收集晶圆载台精度条件的缺陷进行筛选，生成符合收集晶圆载台精度条件的缺陷数据库；

S5：在晶圆上划分出成多个与晶圆同圆心的圆，并以多个直径将晶圆划分出多个等面积的扇形，多个等面积的扇形与所述多个与晶圆同圆心的圆共同在晶圆上划分出多个等半径的区域，该多个等半径的区域作为晶圆载台精度偏移矢量监控区域，收集缺陷数据库内落在监控区域内的缺陷在缺陷检测过程中晶圆载台的偏移矢量，建立晶圆载台的偏移矢量数据库；以及

S6：若缺陷检测过程中缺陷超出检测窗口，则缺陷观察设备将根据该缺陷所在的监控区域在晶圆载台的偏移矢量数据库中的晶圆载台的偏移矢量进行自动校准。

2.根据权利要求1所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，所述缺陷位置信息文件为缺陷的坐标信息文件。

3.根据权利要求1所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，所述符合收集晶圆载台精度条件的缺陷为缺陷形貌具有明显边缘的缺陷。

4.根据权利要求1或3任一项所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，所述符合收集晶圆载台精度条件的缺陷为缺陷尺寸小于当前缺陷检测条件下缺陷观察设备的可视化检测窗口尺寸的缺陷。

5.根据权利要求1所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，在缺陷观察设备对缺陷位置信息文件内的缺陷进行缺陷检测过程中，采用缺陷观察设备的自动分类功能对符合收集晶圆载台精度条件的缺陷进行实时筛选。

6.根据权利要求1所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，所述落在监控区域内的缺陷为缺陷观察设备按照缺陷位置信息文件中的缺陷位置信息在检测窗口对缺陷初次定位的位置落在该监控区域内。

7.根据权利要求6所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，在缺陷检测过程中，缺陷观察设备按照缺陷位置信息文件中的缺陷位置信息在检测窗口对缺陷初次定位，位置定义为(a1,b1)，经缺陷观察设备晶圆载台自动校准，将缺陷在检测窗口中居中后的位置定义为(a2,b2)，则晶圆载台的偏移矢量α＝(a1-a2,b1-b2)。

8.根据权利要求7所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，落在同一监控区域内的缺陷在缺陷检测过程中晶圆载台的偏移矢量的横坐标的平均值，作为该监控区域的偏移矢量的横坐标；落在同一监控区域内的缺陷在缺陷检测过程中晶圆载台的偏移矢量的纵坐标的平均值，作为该监控区域的偏移矢量的纵坐标，所述该监控区域的偏移矢量的横坐标和纵坐标构成该监控区域的偏移矢量，多个监控区域的偏移矢量共同构成晶圆载台的偏移矢量数据库。

9.根据权利要求1所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，更进一步的还包括S7：设定晶圆载台的偏移矢量数据库的报警规则，缺陷观察设备再次对依步骤S6进行自动校准后的缺陷进行缺陷检测，并判断缺陷是否超出检测窗口，若超出检测窗口则进行人工校准，若在检测窗口内则保持监控。

10.根据权利要求9所述的缺陷观察设备晶圆载台精度偏移的补偿方法，其特征在于，所述报警规则为：设定报警阈值，若晶圆载台的偏移矢量的模大于或等于报警阈值，则认为晶圆载台需要人工校准，缺陷观察设备进行报警；若晶圆载台的偏移矢量的模小于报警阈值，则认为晶圆载台不需要校准，缺陷观察设备不进行报警。