[发明专利]一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置

权利要求书

1.一种掩模夹持单元，其特征在于，包括：

夹板(111)，用于夹持掩模，所述夹板上设置有凸起(112)；

驱动块(12)，所述驱动块(12)具有斜面，所述斜面抵靠所述凸起(112)；

所述驱动块(12)被配置为沿第一方向移动，以使所述凸起(112)沿第二方向移动以夹持所述掩模；

所述斜面包括夹紧斜面(123)和行程斜面(122)，所述夹紧斜面(123)与所述第一方向的第一夹角小于所述行程斜面(122)与所述第二方向的第二夹角。

2.根据权利要求1所述的夹持单元，其特征在于，所述驱动块连接有夹持驱动组件(13)，所述夹持驱动组件(13)包括驱动装置(131)和平行于所述第一方向设置的第一导向杆(132)，所述驱动装置(131)与所述驱动块(12)连接，所述第一导向杆(132)与所述驱动块(12)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述掩模夹持单元还包括夹持框架(16)，所述驱动装置(131)的固定端和所述第一导向杆(132)均与所述夹持框架(16)固定连接。

4.根据权利要求1所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述掩模夹持单元设置有第二导向杆(14)，所述第二导向杆(14)沿所述第二方向设置，所述夹板(111)与所述第二导向杆(14)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述第一夹角小于15度。

6.根据权利要求5所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述第二夹角为45度～75度。

7.根据权利要求1所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述掩模夹持单元还包括位置信号开关(15)，所述位置信号开关(15)与控制器电连接，用于反馈所述夹板(111)的工作状态。

8.根据权利要求7所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述驱动块(12)沿所述第二方向凸设有信号凸起(124)，所述位置信号开关(15)配置为其与所述信号凸起(124)的顶面抵接时表示所述夹板(111)夹紧或打开的工作状态。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述驱动块(12)设置有斜槽(121)，所述斜面设置于所述斜槽(121)的侧壁上，所述凸起(112)能够伸入所述斜槽(121)内。

10.根据权利要求9所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述驱动块(12)包括间隔设置的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板均设置有所述斜槽(121)；

所述夹板(111)的两侧均设置有所述凸起(112)。

11.一种掩模拉伸装置，其特征在于，包括权利要求1-10任意一项所述的掩模夹持单元，还包括拉伸单元(2)，所述拉伸单元(2)与所述掩模夹持单元连接，能带动所述掩模夹持单元沿掩模的延伸方向移动。

12.根据权利要求11所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述拉伸单元(2)包括：

拉伸驱动件(21)，用于带动所述掩模夹持单元沿所述掩模的延伸方向移动；

反馈组件，位于所述掩模夹持单元和所述拉伸驱动件(21)之间，所述反馈组件能够反馈所述掩模被拉伸的长度；

所述拉伸驱动件(21)和所述反馈组件均与控制器连接。

13.根据权利要求12所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述反馈组件包括力传感器(23)和弹性件(24)，所述弹性件(24)和所述掩模夹持单元分别位于所述力传感器(23)的两侧，并均与所述力传感器(23)连接，且所述弹性件(24)的弹性刚度小于所述掩模的弹性刚度。