[发明专利]一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置

说明书

本发明公开了一种掩模夹持单元和掩模拉伸装置，属于光刻领域。该掩模夹持单元包括夹板和驱动块，夹板用于夹持掩模，夹板上设置有凸起；驱动块具有斜面，且斜面抵靠凸起；驱动块被配置为沿第一方向移动，以使凸起沿第二方向移动以夹持掩模。掩模拉伸装置包括上述掩模夹持单元。本发明通过设置具有斜面的驱动块、以及设置于夹板上的凸起，使得驱使驱动块沿第一方向驱动力转换为驱动凸起沿第二方向移动的驱动力，进而使得夹板能够实现夹持或松开，即上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响。

技术领域

本发明涉及光刻领域，尤其涉及一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置。

背景技术

光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到硅片上的设备。已知的光刻设备包括步进重复式和步进扫描式。在上述的光刻设备中，需具有相应的装置作为掩模和硅片的载体，装载有掩模/硅片的载体产生精确的相互运动来满足光刻需要。

掩模在被其载体固定过程中产生的变形误差直接影响了芯片制作的好坏。现有的机械夹紧式固定装置通过垂直布置于夹板上的直线驱动装置直接驱动两夹板相互靠近实现对掩模的夹持，其中直线驱动装置由电机、丝杆和丝杆螺母组成。在夹持过程中，电机带动丝杆转动时会使与丝杆螺母连接的夹板发生一定角度的偏转，进而使得被夹持掩模的掩模发生绕电机轴方向的扭转，对于精度要求较高的应用于光刻领域的掩模来讲，垂直布置的直线驱动装置影响了掩模的像素位置精度(pixel position accuracy，简称PPA)。另外，还有一种类似剪刀结构的掩模夹持单元，上夹板和下夹板通过转轴连接，但是对于精度要求较高的掩模来讲，会使得掩模在发生绕转轴的扭转，从而影响掩模的PPA。

为此，亟需提供一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种掩模夹持单元，以提高掩模夹持单元对被夹持物体的夹紧力。

本发明的另一个目的在于提供一种掩模拉伸装置，以防止掩模在拉伸过程中容易出现滑落进而影响掩模拉伸精度现象发生。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种掩模夹持单元，包括：

夹板，用于夹持掩模，所述夹板上设置有凸起；

驱动块，所述驱动块具有斜面，所述斜面抵靠所述凸起；

所述驱动块被配置为沿第一方向移动，以使所述凸起沿第二方向移动以夹持所述掩模。

通过设置有斜面的驱动块、以及设置于与夹板上的凸起，使得驱使驱动块沿第一方向运动的驱动力转换为驱动凸起沿第二方向移动，进而实现夹板相互夹持或松开；使得上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响，从而避免了剪刀式夹持单元以及直接在夹板上垂直设置丝杆驱动组件对掩模进行夹持的过程中存在的其他扭转力对掩模PPA的影响。

作为优选，所述驱动块连接有夹持驱动组件，所述夹持驱动组件包括驱动装置和平行于所述第一方向设置的第一导向杆，所述驱动装置与所述驱动块连接，所述第一导向杆与所述驱动块滑动连接。

作为优选，所述掩模夹持单元还包括夹持框架，所述夹持驱动装置的固定端和所述第一导向杆均与所述夹持框架固定连接。

作为优选，所述掩模夹持单元设置有第二导向杆，所述第二导向杆沿所述第二方向设置，所述夹板与所述第二导向杆滑动连接。

作为优选，其特征在于，所述斜面包括夹紧斜面和行程斜面，所述夹紧斜面与所述第一方向的第一夹角小于所述行程斜面与所述第二方向的第二夹角。

作为优选，所述第一夹角小于15度。

作为优选，所述第二夹角为45度～75度。