[发明专利]一种掩模台及光刻系统

权利要求书

1.一种掩模台，其特征在于，包括：

支撑底座（1）；

承版台（4），滑动连接在所述支撑底座（1）的上端面上；

两组Y向运动机构（2），设置在所述支撑底座（1）上，且两组所述Y向运动机构（2）分别设置在所述承版台（4）沿X方向的两侧；

两组X向运动机构（3），位于所述承版台（4）沿X方向的两侧，且两组所述X向运动机构（3）分别设置在两组所述Y向运动机构（2）上且与所述承版台（4）连接，所述Y向运动机构（2）带动所述X向运动机构（3）沿Y方向运动，所述X向运动机构（3）带动所述承版台（4）沿所述X方向运动，所述Y方向与所述X方向垂直；

所述X向运动机构（3）和所述Y向运动机构（2）通过转动调节组件连接；

所述支撑底座（1）具有第一安装面（121）和第二安装面（13），所述第一安装面（121）和所述第二安装面（13）均与X方向和Y方向形成的平面平行，所述第一安装面（121）高于所述第二安装面（13），且所述承版台（4）设置在所述第一安装面（121）上，所述Y向运动机构（2）设置在所述第二安装面（13）上；

所述Y向运动机构（2）包括：

直线电机（21），所述直线电机（21）的Y向定子部（211）连接在所述支撑底座（1）的侧面且沿所述Y方向设置，所述直线电机（21）的Y向动子部（212）与所述X向运动机构（3）连接；

所述X向运动机构（3）包括：

音圈电机（31），所述音圈电机（31）的X向定子部（312）与所述Y向运动机构（2）连接，所述音圈电机（31）的X向动子部（311）与所述承版台（4）连接；

所述X向运动机构（3）还包括：

第二连接板（33），分别与所述Y向运动机构（2）及所述X向定子部（312）连接；

滑移板（34），与所述第二连接板（33）滑动连接，且能相对所述第二连接板（33）沿所述X方向滑动，所述滑移板（34）分别与所述X向动子部（311）及所述承版台（4）连接。

2.根据权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述转动调节组件包括转换轴承（6），所述X向运动机构（3）和所述Y向运动机构（2）中的一个与所述转换轴承（6）的内圈连接，另一个与所述转换轴承（6）的外圈连接，所述转换轴承（6）的轴线分别与所述X方向及所述Y方向垂直。

3.根据权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述Y向运动机构（2）还包括：

Y向导轨（221），沿所述Y方向设置在所述第二安装面（13）上；

Y向滑块（222），与所述Y向导轨（221）滑动连接，所述Y向滑块（222）与所述Y向动子部（212）连接。

4.根据权利要求3所述的掩模台，其特征在于，所述Y向运动机构（2）还包括：

第一连接板（23），其下端面与所述Y向滑块（222）连接，其上端面与所述X向运动机构（3）连接。

5.根据权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述Y向运动机构（2）还包括：

Y向位移检测装置，用于检测所述Y向运动机构（2）沿所述Y方向运动的位移；和/或

Y向限位装置，设置在所述第二安装面（13）上，用于限定所述Y向运动机构（2）的极限位移。

6.根据权利要求5所述的掩模台，其特征在于，所述Y向位移检测装置包括第一光栅尺组件（25），所述第一光栅尺组件（25）包括：

第一标尺光栅（251），沿所述Y方向设置在所述第二安装面（13）上；

第一光栅读数头（252），正对所述第一标尺光栅（251）设置且与所述Y向动子部（212）连接；

所述Y向限位装置包括光限位组件（26）和/或限位缓冲组件，所述限位缓冲组件包括设置在所述Y向运动机构（2）两个极限位置处的液压缓冲器（27），所述光限位组件（26）包括：

两个第一光传感器（261），沿所述Y方向间隔设置，所述第一光传感器（261）包括沿所述X方向相对设置的发射部和接收部；

光遮挡板（262），与所述Y向动子部（212）连接，所述光遮挡板（262）能够伸入所述发射部和所述接收部之间以阻挡光线在所述发射部和所述接收部之间的传递。