[发明专利]被处理体的载置装置和处理装置

权利要求书

1.一种被处理体的载置装置，其特征在于，包括：

载置台，其在处理容器的内部载置被处理体；

边缘环，其在所述被处理体的外周部载置在所述载置台，形成有卡止部；

导电性的连接部，其通过所述卡止部与所述边缘环连接；和

第一接触部，其在使所述边缘环与该连接部连接的状态下，使所述边缘环与所述载置台接触。

2.如权利要求1所述的载置装置，其特征在于：

具有第二接触部，其配置在所述第一接触部的下方，与所述载置台接触。

3.如权利要求1或2所述的载置装置，其特征在于：

所述导电性的连接部从所述第一接触部向下方延伸。

4.一种被处理体的载置装置，其特征在于，包括：

载置台，其在处理容器的内部载置被处理体；

边缘环，其在所述被处理体的外周部载置在所述载置台；

导电性的连接部，其设置在所述边缘环和所述载置台的外周侧；

第一接触部，其设置在所述边缘环与所述连接部之间，从所述边缘环的外周侧使该边缘环与所述连接部接触；和

第二接触部，其配置于所述第一接触部的下方，与所述载置台接触。

5.如权利要求1～4中任一项所述的载置装置，其特征在于：

所述第一接触部在整周配置为环状。

6.如权利要求2或4所述的载置装置，其特征在于：

所述第二接触部被分割为多个而配置。

7.如权利要求2、4或6所述的载置装置，其特征在于：

所述第一接触部与所述第二接触部经由所述导电性的连接部或所述载置台的至少任一者电连接。

8.如权利要求6所述的载置装置，其特征在于：

所述连接部配置在形成于绝缘环的凹部，所述绝缘环设置于所述边缘环和所述载置台的侧面，

所述第一接触部配置在形成于所述连接部的凹陷部，从外周侧与所述边缘环接触。

9.如权利要求1或2所述的载置装置，其特征在于：

所述卡止部在整周以向所述边缘环的外周方向去的方式凹陷成凹状。

10.如权利要求1或2所述的载置装置，其特征在于：

所述卡止部在整周从所述边缘环的外周突出成凸状。

11.如权利要求1～10中任一项所述的载置装置，其特征在于：

所述第一接触部是具有反作用力的导电性物质。

12.如权利要求1～5中任一项所述的载置装置，其特征在于：

所述连接部由固定部件固定于所述载置台。

13.如权利要求1～3中任一项所述的载置装置，其特征在于：

所述第一接触部配置于在所述卡止部的内部形成于所述连接部的凹部。

14.如权利要求1～13中任一项所述的载置装置，其特征在于，包括：

使所述载置台的内周部与外周部电分离的绝缘性部件；和

与所述载置台的外周部连接的直流电压施加部。

15.一种处理装置，其特征在于，包括：

处理容器，其划分出用于处理被处理体的处理空间；

载置台，其在所述处理容器的内部载置被处理体；

边缘环，其在所述被处理体的外周部载置在所述载置台，形成有卡止部；

导电性的连接部，其通过所述卡止部与所述边缘环连接；和

第一接触部，其在使所述边缘环与该连接部连接的状态下使所述边缘环与所述载置台接触。

16.一种处理装置，其特征在于，包括：

处理容器，其划分出用于处理被处理体的处理空间；

载置台，其在所述处理容器的内部载置被处理体；

边缘环，其在所述被处理体的外周部载置在所述载置台；

导电性的连接部，其设置在所述边缘环和所述载置台的外周侧；

第一接触部，其设置在所述边缘环与所述连接部之间，从所述边缘环的外周侧使该边缘环与所述连接部接触；

第二接触部，其配置于所述第一接触部的下方，与所述载置台接触。