[发明专利]多层离子环保镀在审
| 申请号： | 201910163083.9 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN109852928A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 蒋建华;向毅 | 申请（专利权）人： | 昆山金百辰金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/12;C23C14/18;C23C14/32 |
| 代理公司： | 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329 | 代理人： | 仲昌民 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 附着 通电 多层 工件表面 镍铬合金 保护膜 水电镀 离子 环保 二氧化钛靶材 技术方案要点 密闭空间 耐腐蚀性 稀有气体 铬靶材 离子镀 离子化 离子态 铜靶材 铜表面 真空镀 密闭 耐磨 靶材 加热 蒸发 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种多层离子环保镀，其特征在于：包括以下工艺步骤，
(1)喷二氧化钛：在密闭的空间内，抽真空，使真空度达到5.0pa～9.0pa；然后在空间内加热至150℃～280℃；然后通电使二氧化钛靶材离子化后附着在工件表面；
(2)镀铜：待二氧化钛附着稳定后，同样的空间内通电使铜靶材附着，铜的厚度保持1-5μm；
(3)镀镍铬合金：在上述密闭空间内通电靶材使镍铬合金附着在铜表面，厚度为300-500nm；
(4)镀铬：在上述密闭空间内通电使铬靶材附着在镍铬合金表面，厚度为1～3μm；
(5)镀AF保护膜：在真空度为5.0-6.0pa的环境中，充入稀有气体达到3～5pa；然后通电使AF保护膜蒸发为离子态后，偏压通电工件，使AF保护膜附着在工件表面。
2.根据权利要求1所述的多层离子环保镀，其特征在于：所述二氧化钛的厚度保持在200-300nm。
3.根据权利要求1所述的多层离子环保镀，其特征在于：所述AF保护膜的厚度保持为200-300nm。
4.根据权利要求1所述的多层离子环保镀，其特征在于：在镀AF保护膜时，电流为5-20A；电压为300-1000V。
5.根据权利要求1所述的多层离子环保镀，其特征在于：所述喷二氧化钛时电流为1-100A；电压为400-800V。
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