[发明专利]用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构在审

专利信息
申请号: 201910168925.X 申请日: 2019-03-06
公开(公告)号: CN109742048A 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 邓金生;汪林;周宏业;余仲 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 尹彦;胡朝阳
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区横*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 传动轮组 伸缩板 皮带 伸缩结构 硅片 传输线 直线滑轨 插片机 石墨舟 缩进 电机 伸出 传输运动 机架底板 驱动连接 伸缩气缸 张紧状态 伸缩 调试 合格率
【权利要求书】:

1.一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构,包括机架(8),设置在机架底板上的直线滑轨(15)和安装在其上面的伸缩板(1),还包括传动轮组,与传动轮组驱动连接的电机(7)和皮带(10),其特征在于:所述电机(7)通过传动轮组使皮带(10)在机架(8)的上面作传输运动,所述伸缩板(1)以直线滑轨(15)导向,通过伸缩气缸(9)的伸缩带动伸缩板(1)伸出或缩进所述机架(8)的一端,当所述伸缩板(1)伸出或缩进所述机架(8)时,所述皮带(10)通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。

2.根据权利要求1所述的伸缩结构,其特征在于:所述传动轮组包括主动轮(16)、第一传动轮(11)、第二传动轮(12)、第三传动轮(13)和第四传动轮(17),所述主动轮(16)安装在机架(8)的侧面,并与所述电机(7)的输出轴传动连接,所述第一传动轮(11)安装在所述伸缩板(1)外侧的一端,所述第二传动轮(12)安装在伸缩板(1)底部上远离第一传动轮(11)的一端,所述第三传动轮(13)位于第二传动轮(12)的下侧,并安装在机架(8)上,所述第四传动轮(17)安装在所述机架(8)的上面远离第一传动轮(11)的一端。

3.根据权利要求2所述的伸缩结构,其特征在于:所述主动轮(16)通过所述皮带(10)与所述第四传动轮(17)、第一传动轮(11)、第二传动轮(12)和第三传动轮(13)传动连接,所述电机(7)通过主动轮(16)、第一传动轮(11)、第二传动轮(12)、第三传动轮(13)和第四传动轮(17)使皮带(10)在机架(8)的上面作传输运动,当伸缩气缸(9)驱动伸缩板(1)伸出或缩进所述机架(8)的一端时,所述第二传动轮(12)会随着所述伸缩板(1)移动,从而带动皮带(10)一起移动,使得皮带(10)始终处于张紧状态。

4.根据权利要求3所述的伸缩结构,其特征在于:所述主动轮(16)和第三传动轮(13)之间还设有第五传动轮(19),所述第五传动轮(19)通过皮带(10)分别与主动轮(16)和第三传动轮(13)传动连接;所述主动轮(16)和第四传动轮(17)之间还设有第六传动轮(18),所述第六传动轮(18)通过皮带(10)分别与主动轮(16)和第四传动轮(17)传动连接。

5.根据权利要求4所述的伸缩结构,其特征在于:所述传动轮组共有两组,分别设置在机架(8)的两侧。

6.根据权利要求1所述的伸缩结构,其特征在于:所述机架(8)上面的两侧各设有一个皮带承托杆(3),所述皮带承托杆(3)的一端固定安装在机架(8)上,当伸缩板(1)伸出所述机架(8)一端时,它能够托住皮带(10)。

7.根据权利要求6所述的伸缩结构,其特征在于:所述伸缩板(1)上的两侧设有与所述皮带承托杆(3)配合使用的避让槽(2),所述皮带承托杆(3)置于所述避让槽(2)内来回伸缩运动,所述伸缩板(1)上的避让槽(2)宽度必须小于皮带(10)宽度,从而当伸缩板(1)伸出所述机架(8)一端时,避让槽(2)上方的皮带(10)不会因悬空而抖动。

8.根据权利要求1所述的伸缩结构,其特征在于:所述伸缩板(1)和伸缩气缸(9)之间还设有滑动组件,所述滑动组件包括连接臂(20)、底座(4)、连接块(5)及滑块(14);所述连接臂(20)的顶端与伸缩板(1)的底部固定连接,所述连接臂(20)的底端与底座(4)的顶端固定连接,所述底座(14)的内侧端面与连接块(5)固定连接。

9.根据权利要求8所述的伸缩结构,其特征在于:所述底座(4)下端的两侧设有滑块(14),所述滑块(14)的底部设有与所述直线滑轨(15)配合的凹槽,所述凹槽卡合在所述直线滑轨(15)上滑动连接。

10.根据权利要求9所述的伸缩结构,其特征在于:所述伸缩气缸(9)固定在机架(8)的底部,所述伸缩气缸(9)上设有伸缩杆(6),所述伸缩杆(6)的一端与所述连接块(5)固定连接。

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