[发明专利]检测缺陷点聚集性的方法及装置

说明书

本发明公开了一种检测缺陷点聚集性的方法及装置，涉及自动光学检测技术领域，提高了检测缺陷点图中的缺陷点是否具有聚集性的检测效率和准确性，本发明的主要技术方案为：获取待检测缺陷点图、分区方式、分区数量及方差阈值；根据所述分区方式及所述分区数量对所述待检测缺陷点图进行区域分割处理，以获得多个分区；确定每个所述分区对应的缺陷点数量，并根据每个所述分区对应的缺陷点数量计算每个所述分区对应的归一化占比值；计算多个所述归一化占比值对应的方差值；判断所述方差值是否大于所述方差阈值；若是，则确定所述待检测缺陷点图中的缺陷点具有聚集性。本发明应用于检测缺陷点图中的缺陷点是否具有聚集性的过程中。

技术领域

本发明涉及自动光学检测技术领域，尤其涉及一种检测缺陷点聚集性的方法及装置。

背景技术

随着科学技术的不断发展，AOI(自动光学检测)技术已经广泛应用于电子制造业。在阵列基板的制作过程中，检测阵列基板上的缺陷点是否具有聚集性是十分重要的环节。AOI检测设备在对阵列基板进行AOI检测的过程中，AOI检测设备会按照预设坐标系，记录该阵列基板上的每个缺陷点的坐标，并在检测完毕后，根据记录的每个缺陷点对应的坐标，绘制出该阵列基板对应的缺陷点图，根据该缺陷点图便可确定该阵列基板上的缺陷点是否具有聚集性。

目前，在根据阵列基板对应的缺陷点图确定该阵列基板上的缺陷点是否具有聚集性时，通常采用人工检测的方式，即工作人员人工识别缺陷点图中的缺陷点，当确定单位面积内的缺陷点超过一定数量时，便可确定该缺陷点图中的缺陷点具有聚集性，从而可以确定该阵列基板上的缺陷点具有聚集性。

发明人在实现本发明的过程中，发现现有技术中存在以下技术问题，由于，需要进行检测的缺陷点图的数量过多，因此，当工作人员对所有缺陷点图进行检测时，必定会耗费大量时间；并且，不同工作人员的检测标准并不统一，从而无法保证检测结果的准确性，因此，采用人工检测的方式检测缺陷点图中的缺陷点是否具有聚集性的检测效率较低、准确性较差。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种检测缺陷点聚集性的方法及装置，主要目的在于提高检测缺陷点图中的缺陷点是否具有聚集性的检测效率和准确性。

为了解决上述问题，本发明主要提供如下技术方案：

一方面，本发明提供了一种检测缺陷点聚集性的方法，该方法包括：

获取待检测缺陷点图、分区方式、分区数量及方差阈值；

根据所述分区方式及所述分区数量对所述待检测缺陷点图进行区域分割处理，以获得多个分区；

确定每个所述分区对应的缺陷点数量，并根据每个所述分区对应的缺陷点数量计算每个所述分区对应的归一化占比值；

计算多个所述归一化占比值对应的方差值；

判断所述方差值是否大于所述方差阈值；

若是，则确定所述待检测缺陷点图中的缺陷点具有聚集性。

可选的，所述分区方式为竖向分区方式或横向分区方式；所述根据每个所述分区对应的缺陷点数量计算每个所述分区对应的归一化占比值，包括：

根据每个所述分区对应的缺陷点数量计算所述待检测缺陷点图对应的缺陷点数量；

计算每个所述分区对应的缺陷点数量占所述待检测缺陷点图对应的缺陷点数量的比值，以获得每个所述分区对应的归一化占比值。

可选的，所述分区方式为正斜分区方式或负斜分区方式；所述根据每个所述分区对应的缺陷点数量计算每个所述分区对应的归一化占比值，包括：

确定所述待检测缺陷点图对应的面积以及每个所述分区对应的面积；